微型气体质量流量计的使用

微型气体质量流量计的使用
 

在工业控制中会遇到许多流量特别低的气体流量测量，我们知道气体的测量一般有涡街流量计，涡轮流量计，玻璃管转子流量计，金属管转子流量计，其中涡街流量计一般用于管径大于DN40的工况条件中使用，由于涡街流量计的特性限制，在小管径低流量的工业环境中不适合使用涡街流量计，玻璃管和金属管转子流量计可以测量的下限会更低一些，但没有信号输出，如果加信号输出成本也非常高昂，况且这种流量计可测量的只是小流量，而微流量的环境里就无法使用了，下面我们着重的说一下热式气体质量流量计。

工作原理：
流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理来测量气体的质量流量，无需温度压力补偿，将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量检测电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量，使之与设定的流量相等

测量气体
几乎所有气体类型
缺点：气体中不能含水份，开机需要预热15分钟，成本较高

输出标准电压或电流信号给上位机，用来显示当前气体流量，或使用直接带有控制器的气体质量流量控制器系统来控制流量的大小，给定一个电压或电流值 ，从而控制电磁阀的开启程度，以控制出气口大小来控制出气量，

测量范围：0.01-125SLPM（标准升/分）? 精度：1.级 输出输入0-5V或4-20mA

气体质量流量控制器出厂通常以氮气N2标定

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