HiLASE中心Perla激光系统多光束微米级加工系统新进展

近日，据捷克HiLASE中心1报道，Perla激光系统2在多光束微加工领域中的应用有了新的进展。

在HiLASE中心的研究小组致力于发展高质量多光束激光微孔加工技术。这次关于 应用在不变钢（FeNi36）的 新型高性价比 多光束加工方法，发布在《Advanced Pulse Laser Machining Technology》特刊上。

搭配Meopta-optika, s.r.o.公司研发的分束、聚焦、以及监控模块，使用电流振镜和HiLASE高能量脉冲激光系统，一个515nm的脉冲，被分成784束，在一张不变钢箔片上单次加工成形了784个高精度孔洞，同时几乎没有产生明显的热效应和热损伤区域。新的加工方式因此可以极大提高加工效率和工件吞吐量。

说明：

1 HiLASE中心是捷克科学院旗下，物理研究所的一部分。主要研究方向为粒子物理、凝聚态物理、固态物理、光学以及等离子体物理。

2 Perla激光系统是产生高功率、高脉冲能量的激光系统，系统包括高质量种子源以及放大器。详情请咨询中国大陆地区总代理 上海昊量光电 Tele 4006 888 532

更多关于 使用金属阴影掩膜加工高精度微米级微孔，用于制造有机发光二极管（OLED），请通过链接访问论文原文https://www.mdpi.com/1996-1944/13/13/2962

关于Perla激光系统，请咨询上海昊量光电 www.auniontech.com

上海昊量光电同时提供用于激光测量的光束分析设备，以及用于加工质量检测的声学探测设备。