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M-SPIN 200 Spin Coater匀胶旋涂仪
M-SPIN 200 Spin Coater匀胶旋涂仪
  • M-SPIN 200 Spin Coater匀胶旋涂仪

M-SPIN 200 Spin Coater匀胶旋涂仪

产品报价:1元

更新时间:2024/5/10 17:25:36

地:其他国家

牌:德国Ramgraber

号:M-SPIN 200

厂商性质: 生产型,贸易型,

公司名称: 迈可诺技术有限公司

产品关键词: 涂布机   旋涂机   旋涂仪  

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赵生 : (13681069478) (13681069478)

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介绍:M-Spin 200匀胶旋涂仪是用于均匀涂覆和干燥晶圆片或衬底。该匀胶旋涂仪适用于直径最大为8英寸的晶圆片,或最大为6英寸 x 6英寸的衬底。它可使用分配臂全自动工作,分配移动托盘,可定义数量。该匀胶旋涂仪配备了顶盖的联锁机制,和可视化全图形触摸面板。M-Spin 200匀胶旋涂仪包含一个内置模块,该模块连接到柔性电缆,外接到一个19英寸外部控件上。

 

产品参数:

可处理衬底尺寸:直径最大为8英寸的晶圆片,或最大为6英寸 x 6英寸的衬底;

旋转速度:最高达9,000 rpm(以1 rpm步长可调);

固定晶圆片或衬底的装置:真空托盘;

处理时间:(1-999秒,可在1秒内调整);

加速度:1-5,000rmp/sec

其他参数:20个程序段,每个40

设备尺寸:约 480mmx 360mm x 416mm(不带盖子)

控制器尺寸:约 145mmx 100mm x 120mm


迈可诺技术有限公司

| 第18

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联系人:赵生

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