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Hitachi SU8020
日立2011年新推出了SU8000系列高分辨场发射扫描电镜，其中SU8020不光1kv的分辨率提升到1.3nm，并且在探测器设计上有新的突破，配置了Lower、Up-per和Top三个Everhart-Thornley型探测器，可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多种信号，实现微区的形貌衬度、原子序数衬度、结晶衬度和电位衬度的观测；结合选配的STEM探测器，还可以实现明场像和暗场像的观测；此外在半导体应用中，还可以安装EBIC探测器，采集感生电流图像，极大丰富了信号的采集，对样品的信息的收集达到了新的高度。
日立电子显微镜SU8020特点：
1. 优秀的低加速电压成像能力，1kv分辨率可达1.3nm
2. 日立专利的ExB设计，不需喷镀，可以直接观测不导电样品
3. 配置Lower、Upper和Top三个Everhart-Thornley型探测器
4. Upper和Top探头均可选择接受二次电子像或背散射电子像
5. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能
6. 标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能
7. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成
项目 | SU8020 | SU8030 | SU8040 | |||||
二次电子分辨率 | 1.0nm （加速电压15kV、WD＝4mm） | |||||||
1.3nm （加速电压1kV、WD＝1.5mm） | ||||||||
加速电压 | 0.1～30kV | |||||||
观测倍率 | 20～8000,000(底片输出) | |||||||
60～2,000,000（显示器输出） | ||||||||
样品台 | ||||||||
马达驱动 | 5轴 | REGULUS样品台 | ||||||
行程 | X | 0～50mm | 0～110mm | |||||
Y | 0～50mm | 0～110mm | 0～80mm | |||||
Z | 360° | |||||||
T | -5～70° | |||||||
R | 1.5～30mm | 1.5～40mm | ||||||
最大装载尺寸 | 100mm（最大） | 150mm（最大） | 150mm（最大） | |||||
150mm（选配） | 200mm（选配） | |||||||
探头 | ||||||||
标配 | Lower | 高立体感图像 | ||||||
Upper | 高分辨SE、LA-BSE图像 | |||||||
Top | SE的电位衬度像、HA-BSE图像 | |||||||
| STEM | 明场像、暗场像 | ||||||
YAG 探头 | BSE图像 | |||||||
半导体探头 | BSE图像 | |||||||
EBIC | 电子束感生电流图像 | |||||||
EDS | 元素分析 | |||||||
反污染措施 | ||||||||
冷指 | 标配 | |||||||
物镜光阑 | 内置自清洁功能 | |||||||
电子枪 | 内置加热器 | |||||||
真空系统 | ||||||||
离子泵 | 3台 | |||||||
分子泵 | 1台 | |||||||
机械泵 | 1台 | |||||||
