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磁控溅射及电子束蒸发镀膜一体机(sputter/evaporator)
磁控溅射及电子束蒸发镀膜一体机(sputter/evaporator)
  • 磁控溅射及电子束蒸发镀膜一体机(sputter/evaporator)

磁控溅射及电子束蒸发镀膜一体机(sputter/evaporator)

产品报价:询价

更新时间:2013/12/22 19:48:51

地:法国

牌:法国品牌

号:550S4

厂商性质: 生产型,贸易型,服务型,

公司名称: 上海续波光电技术有限公司

产品关键词:

550
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肖先生 : (15502170017) (15502170017)

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配置概要:


1、        系统配有多个腔室:UHV蒸发室、UHV溅射室等用于制备约瑟夫森结

2、        电子束蒸发源:(4-6x 15cc6-15KW2-10KV可调


3、        溅射室配有多磁控靶源,每个靶源有独立的挡板,配备独立气路。


4、        可以注入多种气体,进行氧化处理,并且可控制其压强


5、        样品台可以适用于3英寸以上晶片,且具有样品台倾斜和旋转功能。


6、        样品衬底在镀膜前可以通过离子枪进行清洁


7、        主要真空腔真空度可达10-9 Torr


8、       可以沉积几乎任何金属及氧化物薄膜


9、       蒸镀厚度控制速度分辨率: 0.001nm/s


10、  整个系统全自动控制,支持半自动和手动模式。


代表性用户:耶鲁大学、谢布鲁克大学、滑铁卢大学、加州大学圣巴巴拉分校、瑞士联邦理工学院、NTT 等超导及量子器件研究实验室。


详细信息,请联系我们!


上海续波光电技术有限公司

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联系人:肖先生

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