磁控溅射及电子束蒸发镀膜一体机(sputter/evaporator)
产品报价:询价
更新时间:2013/12/22 19:48:51
产地:法国
品牌:法国品牌
型号:550S4
厂商性质: 生产型,贸易型,服务型,
公司名称: 上海续波光电技术有限公司
肖先生 : (15502170017) (15502170017)
(联系我时,请说明是在来宝网上看到的,谢谢!)产品报价:询价
更新时间:2013/12/22 19:48:51
产地:法国
品牌:法国品牌
型号:550S4
厂商性质: 生产型,贸易型,服务型,
公司名称: 上海续波光电技术有限公司
肖先生 : (15502170017) (15502170017)
(联系我时,请说明是在来宝网上看到的,谢谢!)配置概要:
1、 系统配有多个腔室:UHV蒸发室、UHV溅射室等,用于制备约瑟夫森结。
2、 电子束蒸发源:(4-6)x 15cc,6-15KW,2-10KV可调。
3、 溅射室配有多个磁控靶源,每个靶源有独立的挡板,配备独立气路。
4、 可以注入多种气体,进行氧化处理,并且可控制其压强。
5、 样品台可以适用于3英寸以上晶片,且具有样品台倾斜和旋转功能。
6、 样品衬底在镀膜前可以通过离子枪进行清洁。
7、 主要真空腔真空度可达10-9 Torr。
8、 可以沉积几乎任何金属及氧化物薄膜。
9、 蒸镀厚度控制速度分辨率: 0.001nm/s
10、 整个系统全自动控制,支持半自动和手动模式。
代表性用户:耶鲁大学、谢布鲁克大学、滑铁卢大学、加州大学圣巴巴拉分校、瑞士联邦理工学院、NTT 、等超导及量子器件研究实验室。
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