产品报价：询价
更新时间：2011/9/22 17:02:08
产地：北京
品牌：de
型号：de500
厂商性质： 生产型,
公司名称： 德仪科技有限公司
德仪科技 : (13901368207) (010-67832716)
（联系我时，请说明是在来宝网上看到的，谢谢！）DE500 Magnetron Sputtering System
DE500 磁控溅射系统
LOAD LOCK Chamber (option)
LOAD LOCK预真空进样室（可选）
Chamber with front open door
前开门溅射腔体
Cryopump and dry pump
冷凝泵和干泵
Up to four sputter cathode
4个磁控溅射源
DC, RF or pulse DC power supply
直流、射频或脉冲电源
Sputter up or down
朝上或朝下溅射
Max. 8” substrate
最 大8”基片
Substrate rotation
基片旋转
Substrate bias (option)
基片偏压（可选）
Substrate heating to 1000C (option)
基片加热1000度（可选）
Up to four channel process gas
多达四路工艺气体
PID sputter pressure control
PID溅射压力控制
Manual or automatic system control
系统手动或自动控制
Good film uniformity and repeatability
良好的薄膜均匀性和重复性
For sputter metal, semiconductor and insulation materials
可沉积金属、半导体和绝缘材料
联系：楚先生
电话：010-67832716,67832717
手机：13901368207
EMAIL: de@deProducts.com
网址：www.deProducts.com
