应用行业
可广泛用于气体浓度传感器校准、半导体以及特种材料研究(CVD)、等离子刻蚀、脱硫脱硝、焊接、气调保鲜、消毒杀菌、医疗及微电子工业用混合气的配制,主要使用对象是大中专 院校的实验室、科研院所以及从事气体分析仪器研发和气体检测领域的高新技术企业。产品规格
总气量范围 | 0~200SLM(可在此范围内任意定制) |
稀释配比范围 | 1ppm到100 |
流量单位 | SCCM (标准毫升/分) / SLM(标准升/分) |
精度误差 | ±1%F.S.(可定制更高) |
工作压差范围 | 0.1~0.5MPa |
最高耐压 | 3MPa(可定制更高) |
对外单点泄漏率 | ≤1×10-9Pa·m3/S(He) |
响应时间 | ≤2sec |
输出信号 | 标准RS485.RS232(可选) |
介质输入温度 | 5~45℃ |
工作环境温度 | 5~45℃ |
工作环境湿度 | <80RH |
供电电源 | 220VAC±10,50Hz |
介质接触材质 | 氟橡胶,硅橡胶,丁晴橡胶,聚四氟乙烯,金属密封型 |
接头尺寸 | 3mm,6mm, 1/8,1/4, |
显示方式 | 电脑/触摸屏 |