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大尺寸霍尔离子源 eH 3000,高离子束流,真空镀膜离子源
大尺寸霍尔离子源 eH 3000,高离子束流,真空镀膜离子源
  • 大尺寸霍尔离子源 eH 3000,高离子束流,真空镀膜离子源

大尺寸霍尔离子源 eH 3000,高离子束流,真空镀膜离子源

产品报价:询价

更新时间:2023/5/12 13:49:06

地:美国

牌:KRi

号:eH 3000

厂商性质: 生产型,贸易型,

公司名称: 伯东企业(上海)有限公司

产品关键词: 大尺寸离子源   KRi离子源   霍尔源   真空镀膜离子源   霍尔离子源  

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叶南晶 : (13918837267) (021-50463511-107)

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因产品配置不同, 价格货期需要电议, 图片只供参考, 一切以实际成交合同为准

KRI 霍尔离子源 eH 3000
上海伯东代理美国原装进口 KRI 霍尔离子源 eH 3000 适合大型真空系统, 与友厂大功率离子源对比, eH 3000 是市场上提供高离子束流的离子源.
尺寸: 直径= 9.7“ 高= 6”
放电电压 / 电流: 50-300V / 20A
操作气体: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有机前体

KRI 霍尔离子源 eH 3000 特性
? 水冷 - 加速冷却
? 可拆卸阳极组件 - 易于维护; 维护时, 限度地减少停机时间; 即插即用备用阳极
? 宽波束高放电电流 - 高电流密度; 均匀的蚀刻率; 刻蚀效率高; 高离子辅助镀膜 IAD 效率
? 多用途 - 适用于 Load lock / 超高真空系统; 安装方便
? 等离子转换和稳定的功率控制

KRI 霍尔离子源 eH 3000 技术参数

型号

eH3000 / eH3000L / eH3000M / eH3000LE

供电

DC magnetic confinement

  - 电压

50-250V VDC

  - 离子源直径

~ 7 cm

  - 阳极结构

模块化

电源控制

eHx-25020A

配置

-

 - 阴极中和器

Filament, Sidewinder Filament or Hollow Cathode

 - 离子束发散角度

> 45° (hwhm)

  - 阳极

标准或 Grooved

 - 水冷

前板水冷

 - 底座

移动或快接法兰

 - 高度

4.0'

 - 直径

5.7'

 - 加工材料

金属
电介质
半导体

 - 工艺气体

Ar, Xe, Kr, O2, N2, Organic Precursors

 - 安装距离

16-45”

 - 自动控制

控制4种气体

* 可选: 可调角度的支架;

KRI 霍尔离子源 eH 3000 应用领域
溅镀和蒸发镀膜 PC
辅助镀膜 ( 光学镀膜 ) IBAD
表面改性, 激活 SM
直接沉积 DD

1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源, 霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项成果. 离子源用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源总代理.

若您需要进一步的了解 KRI 霍尔离子源, 请参考以下联络方式
上海伯东: 叶小姐                                  台湾伯东: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 107             T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                          F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267                       M: +886-939-653-958
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大尺寸霍尔离子源 eH 3000,高离子束流,真空镀膜离子源
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伯东企业(上海)有限公司

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联系人:叶南晶

电话:021-50463511-107

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QQ:2821409400

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