超高真空多腔体电子束蒸发镀膜仪(UHV e-beam evaporator)
产品报价:询价
更新时间:2013/12/22 19:46:25
产地:法国
品牌:法国品牌
型号:550SL3
厂商性质: 生产型,贸易型,服务型,
公司名称: 上海续波光电技术有限公司
肖先生 : (15502170017) (15502170017)
(联系我时,请说明是在来宝网上看到的,谢谢!)产品报价:询价
更新时间:2013/12/22 19:46:25
产地:法国
品牌:法国品牌
型号:550SL3
厂商性质: 生产型,贸易型,服务型,
公司名称: 上海续波光电技术有限公司
肖先生 : (15502170017) (15502170017)
(联系我时,请说明是在来宝网上看到的,谢谢!)超高真空多腔体电子束蒸发镀膜仪
推荐配置:可以用于沉积Ti, Ni, Au, Cr, Al, Al2O3等金属及氧化物薄膜,目前全球主要超导量子实验室均使用该设备制备超导Al结(量子比特和约瑟夫森结)和量子器件,可以制备大面积、高度稳定性和可重复性超导结。更详细信息或资料,请咨询我们!
预处理腔:衬底旋转、倾斜(3D); 真空度10-8 T
蒸发镀膜腔:电子枪6-15KW;
可加载4英寸衬底;衬底旋转、倾斜,精度和重复性优于0.1°(可升级)
真空度10-10T或10-11T
频率分辨率10-4Hz或更高;速率分辨率10-3nm/s;厚度分辨率10-2nm
氧化腔体:静态/动态氧化;
真空度<10-8 T
全自动软件包,支持半自动和手动模式,支持远程网络操作和维护。
典型用户:耶鲁大学、日本NTT等
欢迎进一步咨询!