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超高真空多腔体电子束蒸发镀膜仪(UHV e-beam evaporator)
超高真空多腔体电子束蒸发镀膜仪(UHV e-beam evaporator)
  • 超高真空多腔体电子束蒸发镀膜仪(UHV e-beam evaporator)

超高真空多腔体电子束蒸发镀膜仪(UHV e-beam evaporator)

产品报价:询价

更新时间:2013/12/22 19:46:25

地:法国

牌:法国品牌

号:550SL3

厂商性质: 生产型,贸易型,服务型,

公司名称: 上海续波光电技术有限公司

产品关键词:

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肖先生 : (15502170017) (15502170017)

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超高真空多腔体电子束蒸发镀膜仪

推荐配置:可以用于沉积Ti, Ni, Au, Cr, Al, Al2O3等金属及氧化物薄膜,目前全球主要超导量子实验室均使用该设备制备超导Al结(量子比特和约瑟夫森结)和量子器件,可以制备大面积、高度稳定性和可重复性超导结。更详细信息或资料,请咨询我们!

预处理腔:衬底旋转、倾斜(3D); 真空度10-8 T

蒸发镀膜腔:电子枪6-15KW;

可加载4英寸衬底;衬底旋转、倾斜,精度和重复性优于0.1°(可升级)

真空度10-10T或10-11T

频率分辨率10-4Hz或更高;速率分辨率10-3nm/s;厚度分辨率10-2nm

氧化腔体:静态/动态氧化;

真空度<10-8 T

全自动软件包,支持半自动和手动模式,支持远程网络操作和维护。

典型用户:耶鲁大学、日本NTT等

欢迎进一步咨询!


上海续波光电技术有限公司

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