氦质谱检漏仪ZLS-24C

性能指标 氦质谱检漏仪对比
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  型   号            最小可检漏率Pa.m3/s
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  ZLS-23B                 2·10-11
  ZLS-24B                 2·10-11
  ZLS-24C                 2·10-11
 ZLS-26D/T                5·10-12
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  型   号              反应(清除)时间 s
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  ZLS-23B                    ＜3
  ZLS-24B                    ＜3
  ZLS-24C                    ＜3
 ZLS-26D/T                   ＜3
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  型   号                  读数方式
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  ZLS-23B                 表头（mV）
  ZLS-24B         表头和数字（量程自动切换）
  ZLS-24C         表头和数字（量程自动切换）
 ZLS-26D/T                 数字直读
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  型   号                  特    点
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  ZLS-23B             单主机，带标准漏空
  ZLS-24B      带一套粗抽系统（泵2XZ-4B），配有一只校准漏孔
  ZLS-24C      带二套粗抽系统，适用于批量检漏，配有一只校准漏孔
 ZLS-26D/T     涡轮分子泵（德国莱宝50型）前级泵
               （日本GLD030）粗抽泵（英国
               EDWARDERV12），配有一只校准漏孔