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电子束蒸发镀膜系统
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电子束蒸发镀膜系统

产品报价:询价

更新时间:2012/8/15 20:32:20

地:北京

牌:Ferrotec Temescal

号:FC4400

厂商性质: 生产型,贸易型,服务型,

公司名称: 北京创世杰科技发展有限公司

产品关键词:

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张先生 : (13911514522) (010-13911514522)

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 产品概述
Temescal成立于1952年,是真空电子束蒸镀技术的领导者,提供最先进的精密镀膜系统以及电子枪组件。Temescal在精确控制材料蒸气云分布方面拥有丰富的经验与独到的技术,典型材料如钛、铂、金、钯、银、镍、铝、铬、铜、钼、锡、二氧化硅、氧化铟锡,可获得优异的薄膜沉积均匀性和一致性。
Temescal总部在美国加州,拥有独立完善的设计、制造、销售和研发部门,其关键技术优势着重体现于成套沉积系统和电子枪组件。在高亮度LED、GaAs基无线通信芯片、光通讯器件、太阳能光伏、微机械(MEMS)和声表器件(SAW)等领域拥有很高的声誉和众多著名用户。
Temescal完美的工艺实现能力包括:高均匀性多层膜系工艺设计,最先进的大功率电子枪及控制电源,无死角操作的双开门设计,洁净无油真空系统,多种精密工件架,全自动薄膜工艺控制系统,等等。
 产品特点
1. 业内独有的真空锁式批量蒸镀系统
2. 整个电子束蒸发源可与腔室分离并转到设备框架之外
3. 高性能电子枪和控制器
4. 所有OEM组件均来自世界一流供应商
5. 丰富的剥离(Lift-off)工艺经验
6. 高均匀性和高材料利用率
7. 可靠灵活的全自动控制系统
8. 设备性能完全满足24/7的严格的FAB生产要求
9. 专业的工艺研发和技术支持
 技术参数

主要型号
1. FC4400
Temescal最大型标准系统,真空锁结构设计,适合150mm以上基片工艺的产能最大化要求
2. FC3800
Temescal大型标准系统,真空锁结构设计,适合各种高产能应用要求
3. FC/BCD2800
Temescal中型生产设备,真空锁结构可选,适合100mm~150mm晶圆工艺生产
4. FC/BJD2000
Temescal小型标准系统,尤其适合小规模生产和研发

设备产能

设备型号:            FC/BJD-2000  FC/BCD-2800  FC-3800  FC-4400
2inch 晶圆:              42           N/A        N/A      N/A
3inch 晶圆:              17           47         N/A      N/A
100mm 晶圆:              13           25         53        55
150mm 晶圆:               5           12         25        30
200mm 晶圆:              N/A           6         14        15


 主要应用?

 

 

 

• 高亮度 LED

• 无线通信 Wireless infrastructure

• 微机电 MEMS

• 表面声波器件 SAW

北京创世杰科技发展有限公司

| 第13

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