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离子束刻蚀/沉积系统
离子束刻蚀/沉积系统
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离子束刻蚀/沉积系统

产品报价:询价

更新时间:2012/8/15 20:32:15

地:美国

牌:4Wave

号:4Wave

厂商性质: 生产型,贸易型,服务型,

公司名称: 北京创世杰科技发展有限公司

产品关键词:

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张先生 : (13911514522) (010-13911514522)

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 产品概述
4Wave成立于2000年,主要人员及技术均源于美国著名的离子束技术公司Commonwealth Scientific。Commonwealth于2000年被Veeco收购后,其主要的技术及管理高层离开Commonwealth后,重新组建了4Wave公司。4Wave全心致力于研究与应用离子束技术,主要产品为基于离子束技术的薄膜沉积及刻蚀系统,客户群覆盖大学、国防军工、先进技术公司等领域。
4Wave领先技术
1. 低能高束流离子源
2. 偏压靶离子束沉积
3. 低能量的精准离子束刻蚀
 产品特点

离子束刻蚀
1. 真空锁结构可选 
2. 单片或行星式装置
3. 射频ICP离子源 
4. 刻蚀终点监测 - 二次离子质谱仪
5. 基于PC+PLC的自动化控制系统架构


离子束沉积
1. 真空锁结构可选
2. 多靶自动选择
3. 射频ICP离子源
4. 辅助沉积/表面预清洗离子源
5. 晶振和光学膜厚测量
6. 偏压靶技术可选

 应用

  1.行星式气冷刻蚀系统 

  2.应用于磁阻、巨磁阻的离子束沉积系统

  3.研发型和工业型DLC硬质薄膜沉积系统

  4.AlN介质膜离子束沉积系统

  5.应用于半导体存储器镀层的IBD和IBE系统

  6.合金纳米涂层溅射系统

  7.应用于红外探测器的离子束沉积系统

  8.行星式离子铣

北京创世杰科技发展有限公司

| 第13

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联系人:张先生

电话:010-13911514522

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QQ:12531012

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