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商品编号:29281
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Junior小型等离子清洗机

价    格:询价

产    地:德国更新时间:2025/10/14 11:19:37

品    牌:Europlasma型    号:Junior小型

状    态:正常点击量:2378

15010150340
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北京燕京电子有限公司

联 系 人:刘先生

电     话:86-15010150340

传     真:86-10-58237188

等     级: (第 19年)

性     质:生产型,贸易型,服务型,

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1,功能全面,操作简单。

2,PLC全程控制。

3,ISO1999-2000认证。

4,CE安全认证。


 


产品参数

小型等离子清洗机技术资料

 

反应舱
材料:铝
有效尺寸:直径230mm x 深度250mm
容积:10.4升
舱门:装有可视窗口
托盘:订制
真空度测量
皮拉尼真空计
真空泵
二级旋片式真空泵;3m3每小时。
频射发生器
0~600w可调。2.45ghz发生器
控制系统
触摸屏操作,plc控制系统
plc可实现下列功能:
l        自动控制反应过程;
l        根据处理材料设定不同的处理工艺流程;
l        测定真空泵压力、抽真空时间、充气速度、工作压力、处理时间、温度、频射发生器输入电压等指标;
l        监测所有的运行指标,保证在设定范围之内;
l        设定操作、维护密码。
电源
220v ac, 50hz, 16a.
反应气体
一个气体输入端口,含气体流量控制器(mfc)。
气体输入
直径1/4’’ 管道;输入压力:1bar.
安全性能
急停开关;真空泵保护锁;高温保护锁;ce安全认证。

用途:
小型物件的活化、清洗、蚀刻等。
可选件:
1.15m3 每小时真空泵。
2.频射发生器:100khz, 13.56mhz。
3.石英反应舱
4.根据客户要求制作的托盘
5.n2 purge.



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