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搭载微软视窗的操作系统，有优越的操作性，自动测量系统，对極微小的部品，可得到很高的精度。
搭载MS-WINDOWS系统(优越的操作性与高精度测定)
◆ 与IBM PC相容个人电脑
使用与IBMPC相容个人电脑，采用MS-WINDOWS软件，使用时多彩多姿。
◆ 采用二种濾波器
采用数位式濾波器外另有机械式濾波器(两种濾波器)，在测定时，若是最适当的条件下，通常可得到最高的精度。
◆ 准直仪5种孔径内藏式
最小的准直仪孔径僅0.1mm，可测定極微小的部品。
标准：0.1，0.2，0.5，1.0，2.0另僃有2种特别规格可供选选购。
0.005*0.5，0.1，0.2，0.3，0.5
测量位置利用滑鼠可迅速到达
◆ 自动测定测量台
利用滑鼠来调整测量位置，非常敏捷快速。或是测量位置已完成登录时，可连续自动测定，利用座标补正、连结频道，来应付各种测量轨迹。亦可用自动测定来作标准片校正。
优越的显示机能
◆ 测定部显示书像的表示
X线照射部可由WINDOWS书面上取得照射部的表示。从准直仪照射测定物的位置，可由倍率变更机能来实现书面上测出物的放大。
◆ 在膜厚测定中的能谱表示
由多频分析器可快速处理能谱分析。可执行测定物的能谱分析表示，操作简单。
提升资料处理的速度
◆ 充实测量报告的作成机能
采用MS-WINDOW软件，测定书面的拮取，非常简便，可充实测量报告的制作机能。可同时间处理多项工作，机器在测量中亦可处理其他工作；包括如测量报告的制作。
◆ 测定物膜厚附著分布表示
以三次元图案来表示测定物膜厚附著状态的分布，作判定时一目了然。
镬得安心的保证性
◆ 自己诊断机能及X线管保养机能
自己诊断机能，迅速的对策来排除机器的困扰。附有X线管的使用时间及耐久时间表示机能，可加强维護保养的安全性
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