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EFA电性失效分析系统(EBIC及EBAC)
EFA电性失效分析系统(EBIC及EBAC)
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EFA电性失效分析系统(EBIC及EBAC)

产品报价:询价

更新时间:2022/12/8 9:47:22

地:德国

牌:PE

号:EFA

厂商性质:

公司名称: 北京合创鸿业科技有限公司

产品关键词: EFA   电子束感应电流   电子束感生电流   电性失效分析   EBIC  

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郭千里 : (18612994270) (010-62369061)

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合创鸿业向用户提供基于EBIC电子束感生电流技术和EBAC电子束吸收电流分析技术的EFA电性失效分析系统。
 

 



高分辨率下表征样品连接处的性能
  • 亚微米平面分辨率下揭示电路集成

  • 诊断电路结构和其他长期课题,包括电路污染、金属花斑缺陷(pattering defects),电阻互联板(resistive interconnectors)或者电迁移(electro-migration)

  • 直接辨别电路缺陷到具体某一层和失效的具体位置,迅速改进从而大幅提生产品质量


 

 



对样品中的开路、有阻值或者短路缺陷进行准确定位

  • 对金属@线中由于断裂、腐蚀、电子迁移或者外来颗粒造成的电路阻断进行准确定位

  • 准确识别连接处由于界面污染造成的电阻开路

  • FIB制样过程中准确定位,为透射电镜做出高质量样品

 


 


可在在很薄的绝缘体层中确定缺陷位置

  • 在彻底失效前,直接观测栅极氧化层(GOX)和氧化电容器(COX)中的缺陷,并对其准确定位

  • 亚微米分辨率下,准确定位由静电放电(ESD)和过电应力(EOS)导致的氧化物短路

  • 定位过程中,通过低至nW级的电力损耗,可保护样品的原始缺陷特征

 


 


1欧姆精度下,可对低至100欧姆电阻结构制图

  • 高空间分辨率下绘制电阻图,受限于扫描电镜的 电子束和样品作用体积(interaction volume)

  • 确认电阻和电容中相对标称值的偏离

  • 揭示CMOS的连接、电阻和电容结构中的损坏和失效机理

 


 


适用于SEM/FIB的纳米探针样品台
  • 高达8个纳米探针机器人,用于纳米分辨率下的X,Y,Z轴运动和旋转

  • 可取出的附带原位电器的纳米探针样品台,用于低噪音快速分析

  • 完全的软件集成和软件控制

  • 也适用于光学显微镜



 


 

敬请联系 北京合创鸿业科技有限公司