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EA电性失效分析系统(EBIC及EBAC)
EA电性失效分析系统(EBIC及EBAC)
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EA电性失效分析系统(EBIC及EBAC)

产品报价:询价

更新时间:2022/12/2 10:11:21

地:德国

牌:PE

号:EA

厂商性质:

公司名称: 北京合创鸿业科技有限公司

产品关键词: 感应电流   感生电流   电性失效分析   EBIC   EBAC  

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郭千里 : (18612994270) (010-62369061)

(联系我时,请说明是在来宝网上看到的,谢谢!)


合创鸿业向用户提供基于EBIC@EBAC-RCI技术的EA电性失效分析系统。


EBIC电子束感生电流分析系统是一种基于扫描电子显微镜(SEM)的图像采集及分析系统,主要用于半导体器件及光电材料、太阳能电池等的失效及结构分析。

它通过分析电子束照射样品时在样品内产生的电流信号,以图像方式直观表征出样品特征、样品中P-N结位置、失效区域,并可以突出显示样品的非同质性区域,从而对样品进行全面分析。

 



EBIC应用领域包括但不限于:

1)材料晶格缺陷探测分析,缺陷以黑点和黑线标识出来;
2)P-N结缺陷区域定位;
3)双极电路中导致集电极-发射极漏电电流的收集管路的探测;
4)探测额外连接或者多层掺杂;
5)确定静电放电/电过载(ESD/EOS)导致的失效位置;
6)测量减压层/耗尽层(depletion layer)宽度和少数载流子扩散长度和时间(minority carrier diffusion lengths/lifetimes)
等等。

EBIC图像对于电子-空穴的重新组合非常敏感,因此EBIC技术能够非常好的对半导体材料缺陷等进行失效分析。

 



EBIC 信号采集系统
可靠的硬件和软件,构成高品质的用于SEM/TEM的定量电性分析系统



和电子活动相关联的样品形貌、组成及结构图像

  • 同步记录EIBC电子束感生电流、二次电子、背反射电子以及X射线能谱信号。

  • 为样品空间关联信息赋予不同颜色和混合信号。

  • 区分样品主动和被动缺陷。

 

 

 

 

 

 

 





 



为透射电镜TEM和原子探针显微镜制样

  • 高空间分辨率条件下,对TEM样品制备中的缺陷进行定位

  • 避免在FIB电镜中使用EBIC直接获取图像时造成的校正误

  • 制样过程中,可通过实时EBIC图像功能随时停止样品研磨


 


通过内置直流偏压及实时覆盖(live overlay)功能,确认设备操作模式
 

  • 通过图像直接显示延迟装置(delayered device)中的节点及区域形貌

  • 直接显示太阳能电池中的电子活动图像

  • 通过系统模拟功能可直观地通过图像对比样品电学性能


 


系统允许的高分辨率下,以图像方式直接显示样品连结缺陷

  • 通过电子运动特征,对样品结构缺陷进行观测分析

  • 通过图像直观显示PN结活动区域和电场区域

  •  可获得样品掺杂区域分布图

 


运用样品的高度数据,获取样品三维信息

  • 通过调整扫描电镜中电压,获得EBIC信号中的样品高度信息

  • 可对FIB电镜中的样品截面EBIC图像进行分析

  • 可为样品3D图像重构输出样品高度信息

 



高度集成的原位电学样品杆,低噪音,高速度
  
                     


更多详情,联络北京合创鸿业科技有限公司