伯东代理美国 KRI 射频离子源 RFICP 140
产品报价:询价
更新时间:2023/6/20 11:02:30
产地:美国
品牌:KRI
型号:KRI 射频离子源 RFICP 140
厂商性质: 生产型,贸易型,
公司名称: 伯东企业(上海)有限公司
叶南晶 : (13918837267) (021-50463511-107)
(联系我时,请说明是在来宝网上看到的,谢谢!)产品报价:询价
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产地:美国
品牌:KRI
型号:KRI 射频离子源 RFICP 140
厂商性质: 生产型,贸易型,
公司名称: 伯东企业(上海)有限公司
叶南晶 : (13918837267) (021-50463511-107)
(联系我时,请说明是在来宝网上看到的,谢谢!)因产品配置不同,价格货期需要电议,图片供参考,一切以实际成交合同为准。
上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 射频离子源 RFICP 140 是一款紧凑的有栅极离子源, 离子束可聚焦, 平行, 散射.
离子束流: >600 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000.
采用射频技术产生离子, **电离灯丝, 工艺时间更长, 更适合时间长的工艺要求. 提供高密度离子束, 满足高工艺需求.
离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装.
非常适用于离子束溅射沉积, 离子辅助沉积和离子束刻蚀工艺.
伯东代理美国 KRI 射频离子源 RFICP 140 技术参数:
型号 | RFICP 140 |
Discharge | RFICP 射频 |
离子束流 | >600 mA |
离子动能 | 100-1200 V |
栅极直径 | 14 cm Φ |
离子束 | 聚焦, 平行, 散射 |
流量 | 5-30 sccm |
通气 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型压力 | < 0.5m Torr |
长度 | 24.6 cm |
直径 | 24.6 cm |
中和器 | LFN 2000 |
伯东代理美国 KRI 射频离子源 RFICP 140 应用领域:
1.预清洗
2.表面改性
3.辅助镀膜(光学镀膜)IBAD,
4.溅镀和蒸发镀膜 PC
5.离子溅射沉积和多层结构 IBSD
6.离子蚀刻 IBE
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3. 伯东 KRI 离子源成功应用于离子溅射镀膜 (IBSD)
伯东代理美国 KRI 射频离子源 RFICP 140
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