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伯东代理美国 KRI 射频离子源 RFICP 140
伯东代理美国 KRI 射频离子源 RFICP 140
  • 伯东代理美国 KRI 射频离子源 RFICP 140

伯东代理美国 KRI 射频离子源 RFICP 140

产品报价:询价

更新时间:2023/6/20 11:02:30

地:美国

牌:KRI

号:KRI 射频离子源 RFICP 140

厂商性质: 生产型,贸易型,

公司名称: 伯东企业(上海)有限公司

产品关键词: 射频离子源 RFICP 140   射频离子源   KRI   KRI 离子源   离子源  

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叶南晶 : (13918837267) (021-50463511-107)

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因产品配置不同,价格货期需要电议,图片供参考,一切以实际成交合同为准。

上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 射频离子源 RFICP 140 是一款紧凑的有栅极离子源, 离子束可聚焦, 平行, 散射.

离子束流: >600 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000. 

采用射频技术产生离子, **电离灯丝, 工艺时间更长, 更适合时间长的工艺要求. 提供高密度离子束, 满足高工艺需求.

离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装.

非常适用于离子束溅射沉积, 离子辅助沉积和离子束刻蚀工艺.


伯东代理美国 KRI 射频离子源 RFICP 140 技术参数:

型号

RFICP 140

Discharge

RFICP 射频

离子束流

>600 mA

离子动能

100-1200 V

栅极直径

14 cm Φ

离子束

聚焦, 平行, 散射

流量

5-30 sccm

通气

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型压力

< 0.5m Torr

长度

24.6 cm

直径

24.6 cm

中和器

LFN 2000


伯东代理美国 KRI 射频离子源 RFICP 140 应用领域:

1.预清洗

2.表面改性

3.辅助镀膜(光学镀膜)IBAD,

4.溅镀和蒸发镀膜 PC

5.离子溅射沉积和多层结构 IBSD

6.离子蚀刻 IBE


KRI 射频离子源相关应用案例:

 

1. 伯东 KRI 射频离子源 RFICP 应用于离子刻蚀 IBE

2. 伯东 KRI 射频离子源 RFICP 325 辅助 LED-DBR 镀膜

3. 伯东 KRI 离子源成功应用于离子溅射镀膜 (IBSD)

 

伯东代理美国 KRI 射频离子源 RFICP 140

 

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上海伯东 : 邓女士                               台湾伯东 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
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