产品报价：询价
更新时间：2023/6/20 11:03:06
产地：美国
品牌：KRI
型号：KRI 射频离子源 RFICP 100
厂商性质： 生产型,贸易型,
公司名称： 伯东企业（上海）有限公司
叶南晶 : (13918837267) (021-50463511-107)
（联系我时，请说明是在来宝网上看到的，谢谢！）因产品配置不同，价格货期需要电议，图片供参考，一切以实际成交合同为准。
上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 射频离子源 RFICP 100, 离子束可聚焦, 平行, 散射.
KRI 射频离子源属于大面积射频离子源, 离子束流: >350 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000. 流量(Typical flow):5-30 sccm
采用射频技术产生离子, 不用电离灯丝, 工艺时间更长.
离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装.
适用于离子溅镀和离子蚀刻, 实现薄膜特性. 在离子刻蚀工艺中, 离子源与离子光学配合, 蚀刻更均匀.
伯东公司代理美国 KRI 射频离子源 RFICP 100 技术参数:
型号 | RFICP 100 |
Discharge | RFICP 射频 |
离子束流 | >350 mA |
离子动能 | 100-1200 V |
栅极直径 | 10 cm Φ |
离子束 | 聚焦, 平行, 散射 |
流量 | 5-30 sccm |
通气 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型压力 | < 0.5m Torr |
长度 | 23.5 cm |
直径 | 19.1 cm |
中和器 | LFN 2000 |
* 可选: 灯丝中和器; 可变长度的增量
伯东公司代理美国 KRI 射频离子源 RFICP 100 应用领域:
1. 预清洗
2. 表面改性
3. 辅助镀膜(光学镀膜) IBAD,
4. 溅镀和蒸发镀膜 PC
5. 离子溅射沉积和多层结构 IBSD
6. 离子蚀刻 IBE
KRI 射频离子源相关应用案例:
1. 伯东 KRI 射频离子源 RFICP 应用于离子刻蚀 IBE
2. 伯东 KRI 射频离子源 RFICP 325 辅助 LED-DBR 镀膜
3. 伯东 KRI 离子源成功应用于离子溅射镀膜 (IBSD)
伯东公司代理美国 KRI 射频离子源 RFICP 100
若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :
上海伯东 : 邓女士 台湾伯东 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw
伯东版权所有, 翻拷必究!
