产品报价：询价
更新时间：2023/6/20 11:04:09
产地：美国
品牌：KRI
型号：考夫曼离子源 KDC 160
厂商性质： 生产型,贸易型,
公司名称： 伯东企业（上海）有限公司
叶南晶 : (13918837267) (021-50463511-107)
（联系我时，请说明是在来宝网上看到的，谢谢！）因产品配置不同，价格货期需要电议，图片供参考，一切以实际成交合同为准。
上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 考夫曼离子源 KDC 160. 离子束可选聚焦/ 平行/ 散射. 适用于已知的所有离子源应用.
离子束流: >650 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器: 灯丝, 流量 (Typical flow): 2-30 sccm.
加热灯丝产生电子, 增强设计输出高质量, 稳定的电子流.
离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装.
不用水冷, 降低安装要求并排除腔体漏水的几率, 双阴极设计.
美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 160伯东代理 技术参数：
离子源型号 | 离子源 KDC 160 |
Discharge | DC 热离子 |
离子束流 | >650 mA |
离子动能 | 100-1200 V |
栅极直径 | 16 cm Φ |
离子束 | 聚焦, 平行, 散射 |
流量 | 2-30 sccm |
通气 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型压力 | < 0.5m Torr |
长度 | 25.2 cm |
直径 | 23.2 cm |
中和器 | 灯丝 |
* 可选: 可调角度的支架
美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 160伯东代理 应用领域:
1. 溅镀和蒸发镀膜 PC
2. 辅助镀膜(光学镀膜)IBAD
3. 表面改性, 激活 SM
4. 离子溅射沉积和多层结构 IBSD
5. 离子蚀刻 IBE
KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列应用案例:
1. 伯东 KRI 离子源成功应用于离子溅射镀膜 (IBSD)
2. 伯东 KRI Gridded 考夫曼离子源用于离子束抛光工艺
美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 160伯东代理
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