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EQ-10HR高重复频率10 kHz EUV源

产品报价：询价

更新时间：2023/4/3 18:11:18

产地：美国

品牌：ENERGETIQ

型号：EQ-10HR

厂商性质：生产型,

公司名称：世联博研（北京）科技有限公司

产品关键词： EUV源 10 kHz EUV源高重复频率 EQ-10HR

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EQ-10HR高重复频率10 kHz EUV源

预期用于HVM的EUV源将以10 kHz或更高的脉冲重复频率运行。为了模拟以这种脉冲速率工作对光学器件寿命的影响，例如，需要高重复率的计量源。Energetiq EQ-10HR EUV光源是一种紧凑，易于使用，可靠且具有成本效益的EUV光源，基于Energetiq久经考验的
使用氙气的Electrodeless Z-pinch?技术。EQ-10HR高重复频率EUV光源非常适合需要HVM仿真的计量和研究应用。

特点与优势

独特的正在申请专利的无电极Z-Pinch技术
-碎屑少/耗材成本低
10 kHz脉冲速率
-支持大批量制造（HVM）模拟-连续模式，24/7
等离子体尺寸小
-直径小于1mm
经济高效且紧凑
-占地面积小
符合CE标志和SEMI S2-0715

行业应用

加速EUV光学测试
EUV计量
EUV抗拒发展
缺陷检查
EUV显微镜

EQ-10HR是一个独立系统，可以集成到过程工具中。该系统包括无电极Z夹源组件，磁悬浮真空泵子系统，气体输送子系统，功率输送子系统和控制电子设备。EQ-10HR能够将高达0.5 mJ /脉冲的宽带EUV传输到2pi球面度中，并且将以高达10 kHz的脉冲重复频率连续运行。

为了适应各种应用的不同要求，源工作条件是用户可调的。EUV光输出可根据用户要求针对峰值功率或峰值亮度进行优化。在典型的操作条件下，等离子体的直径通常小于1mm。在系统外壳的侧面为用户提供了一个简单而灵活的光学接口，以连接到应用程序设备。自定义界面可满足特定的客户要求。用户界面通过彩色触摸屏显示进行操作，并包含允许手动和自动操作的菜单。

EQ-10HR易于安装，仅需电源，冷冻水供应，清洁的干燥压缩空气和氙气供应即可。

独特的设计消除了电极
和电极电流

-无电极-无电极碎屑
等离子体被磁性限制在
远离源组件的位置

-进一步减少了碎屑
磁性限制提供
出色的空间稳定性
降低成本和复杂性

世联博研（北京）科技有限公司

| 第14年

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