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EQ-10HP 20瓦EUV光源

产品报价：询价

更新时间：2023/4/3 18:11:18

产地：美国

品牌：ENERGETIQ

型号：EQ-10HP

厂商性质：生产型,

公司名称：世联博研（北京）科技有限公司

产品关键词： 20瓦EUV光源 EQ-10HP 激光驱动光源 EUV光源

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EQ-10HP 20瓦EUV光源

EQ-10HP是紧凑，易于使用，可靠且具有成本效益的EUV光源，基于Energetiq久经验证的使用氙气的Electrodeless Z-pinch?技术。EQ-10 EUV光源非常适合计量和研究应用。EQ-10凭借其久经考验的可靠性，易用性和较低的运行成本，已在全球范围内交付和安装了30多种，已成为EUV社区的主要EUV来源。

Energetiq EQ-10 EUV Source的模块化设计使其可以集成到过程工具中。该系统包括无电极Z夹源组件，真空和气体子系统，功率传输子系统以及控制电子设备。EQ-10HP能够将高达20瓦的带内EUV输送到2pi球面度中，并且将以高达2.5kHz kHz的脉冲重复频率连续运行。

特点与优势

独特的正在申请专利的无电极Z-Pinch技术
-碎屑少/耗材成本低
使用氙气将20W转换为2pi-
更高的亮度和功率，适用于各种应用
等离子体尺寸小
-直径小于1mm
经济高效且紧凑
-每EUV瓦特成本低
-占地面积小
符合CE标志和SEMI S2-0715

行业应用

EUV面罩检查
EUV计量
EUV抗拒发展
EUV显微镜

为了适应各种应用的不同要求，源工作条件是用户可调的。EUV光输出可根据用户要求针对峰值功率或峰值亮度进行优化。在典型的操作条件下，等离子体的直径通常小于1mm。在系统外壳的侧面为用户提供了一个简单而灵活的光学接口，以连接到应用程序设备。自定义界面可满足特定的客户要求。用户界面通过彩色触摸屏显示进行操作，并包含允许手动和自动操作的菜单。

独特的设计消除了电极
和电极电流

-无电极-无电极碎屑
等离子体被磁性限制在
远离源组件的位置

-进一步减少了碎屑
磁性限制提供
出色的空间稳定性
降低成本和复杂性

世联博研（北京）科技有限公司

| 第14年

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