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Leica DM3 XL徕卡材料显微镜
Leica DM3 XL徕卡材料显微镜
  • Leica DM3 XL徕卡材料显微镜

Leica DM3 XL徕卡材料显微镜

产品报价:询价

更新时间:2020/7/15 10:16:49

地:德国

牌:徕卡

号:Leica DM3 XL

厂商性质:

公司名称: 可脉检测(南京)有限公司

产品关键词: 半导体显微镜   徕卡显微镜   进口显微镜   显微镜  

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李士臣 : (18602502375) (025-86222679)

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Leica DM3 XL徕卡材料显微镜-微电子和半导体用快速检测检验系统:

Leica DM3 XL徕卡全手动正置材料显微镜,是特别适合微电子和半导体检测快速检测的检验系统。在微电子和半导体的检验、过程控制或缺陷和故障分析中,要求检测速度必须够快,才能满足快速做出反应的要求。DM3 XL显微镜充分利用特有的宏观物镜视场宽敞30%,快速扫描大到6"样品组件,检验系统凭借大视场能快速识别缺陷,提高工作效率。同时DM3?XL检验系统为中等预算用户提供了高端品质,是微电子和半导体理想的检验系统。


Leica DM3 XL徕卡材料显微镜-关键特征体现优势:

高效检验大到 6" 样品

  ? 0.7X放大倍率的宏观物镜实时采集35.7mm的视场,快速扫描大到6"的样品组件,

     更多细节尽收眼底,工作更高效

  ? 宏观物镜下可靠检测晶片边缘或中心显影不足区域、不均匀的径向膜厚度等

  ? 视场比普通物镜宽敞30%,能有效节省检验时间,快速检测、快速响应


 LED照明适用任何相衬观察方法

  ? 徕卡特有的LED照明,提供恒定色温,亮度等级自由调节,真彩色成像,始终可看到

    相同颜色样品,并获得可复制的结果

  ? 适用于明场、暗场、微分干涉相衬、偏振、荧光和斜射照明

  ? LED使用寿命可达35000小时,低能耗,节约成本


以实惠价格享受徕卡卓越的光学特性

 ?  采用斜射照明检验侧面、边缘或碎屑,从不同角度照亮样品,是简单有效的形貌可视

     方法

 ?  借助深暗场对比检测样品较低层中的微小划痕或小颗粒,此外暗场的大工作距离有利

     于保护珍贵样品免受损伤


 多种载物台插件适合不同样品

 ? 载物台插件种类丰富,依据被检测样品形状和尺寸的选配

 ? 载物台尺寸:150 mm x 150 mm

 ? 供选配的载物台插件:金属插件、晶片支座或掩模支座

 ? 能实现载物台快速粗略或精准定位


直观明了工作更舒适

 ? 彩色编码功能对基本设置进行简化,提升工作速度,并减少操作失误

 ? 采用人体工学设计,舒适性好,操作更简单

Leica DM3 XL徕卡材料显微镜-技术参数:

系统Leica DM3 XL技术参数
显微镜支架固定的金属支架
调焦2档调焦(粗调/微调,采用1μm测微尺刻度,带顶部调焦限位装置)或
3档调焦(粗调/微调,采用1μm和4μm测微尺刻度,带顶部调焦限位装置)
扭矩粗调焦,可调载物台高度挡块
载物台冲程30mm
入射光坚固的入射光轴,带4位反射镜转盘
适用于BF/DF/POL/DIC和FLUO:
?带斜射照明
?带彩色编码光圈辅助(CCDA)
?带中心孔径可变光阑
?带入射光滤片匣(双滤片,直径32mm)
下列光源可适应所有入射光轴:
?LED-灯箱,带入射光亮度内部显微镜空件
?镜像室106,适用于两种光源的同步调整
?荧光照明SFL 100、4000和7000
?EL6000、Hg50、Hg100、Xe75
?12V100W卤素光源(106或107/2系列灯箱),带独立变压器
物镜转盘/物镜5孔 BF/DF M32、6孔 BF M25物镜转盘:
?5X、10X、20X高反差平场消色差EPI物镜
?2.5X-100X平场消色差EPI物镜
?1.25X-100X平场半复消色差物镜
?0.7X宏观50X、100X、150X平场复消色差物镜
LED照明适用于所有相衬观察方法的LED
?在所有亮度等级下实现真彩色成像
?自由调节
?无需更换灯泡 – 无停机时间
?可复制的结果
载物台有种类丰富的载物台插件供选择,适合多种类型和尺寸的试样检验:
?载物台尺寸:150x150mm
?载物台插件:金属插件、晶片支座或掩模支座
?快速的粗略或精准载物台定位
附件选配放大倍率调节器(1X、1.5X、2X)
选配测量载物台,适用于X、Y和Z向测量
透射光借助带光纤的外部冷光源照明
电源稳定的通用电源单元,90-230V