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SEMISHARE SX-12 系列半自动晶圆探针台
SEMISHARE SX-12 系列半自动晶圆探针台
  • SEMISHARE SX-12 系列半自动晶圆探针台

SEMISHARE SX-12 系列半自动晶圆探针台

产品报价:10000元

更新时间:2020/5/25 9:37:22

地:香港

牌:semishare

号:SX-12

厂商性质: 生产型,贸易型,服务型,

公司名称: 深圳市森美协尔科技有限公司

产品关键词: 调阻机   晶圆测试   高低温探针台   全自动探针台   真空探针台  

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向先生 : (18820253316) (0755-26906952-8004)

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SX系列半自动晶圆探针台
型号SX-6SX-8SX-12
外形(W*D*H1000mm*1400mm*1400mm1100mm*1500mm*1400mm1200mm*1600mm*1400mm
重量1000KG1150KG1350KG
电力需求AC220V50~60Hz
CDA需求0.4~0.8Mpa
Chuck尺寸6812
X-Y轴行程200mm*300mm250mm*400mm350mm*500mm
X-Y轴移动解析度0.1μm
X-Y轴重定位精度±1μm
X-Y移动速度70mm/sec
Z轴行程20mm
Z轴移动解析度0.1μm
Z轴重定位精度±1μm
Z轴移动速度20mm/sec
Theta角度行程±10°Theta角度解析度0.0001°
样品固定方式多孔真空吸附,独立分开控制
更换样品方式Chuck快速拉出
结构三轴超低噪声设计,镀金,电学独立悬空(chuck可作为背电极)
针座平台规格O型平台,最多可放置12个针座(不安装八角盒时)
显微镜X-Y-ZX-Y轴行程2* 2
X-Y轴移动解析度0.1μm
X-Y轴重定位精度±2μm
X-Y移动速度10mm/sec
Z轴行程5
Z轴移动解析度0.1μm
Z轴重定位精度±1μm
Z轴移动速度10mm/sec
显微镜变倍显微镜151三档变倍显微镜,可同时显示低倍和中倍/高倍画面,便于点针操作
相机双相机(200W或者500W 工业级数字相机)
点针规格点针精度10μm / 2μm / 0.7μm
X-Y-Z行程12mm-12mm-12mm
漏电精度10pA / 100fA / 10fA
接口形式香蕉头/同轴 /三轴/ SMA /SHV
固定方式磁力吸附   / 真空吸附
温控组件温度范围60-200℃(标准)
温控稳定性±0.1
温控分辨率0.01
升温时间
    (
12″卡盘)
60℃至+25℃≤15分钟
   
+25℃至+200℃≤25分钟
降温时间
    (
12″卡盘)
200℃至+25℃≤30分钟
    ﹢
25 -60℃≤50分钟
噪声50dB
加热方式低压直流加热/PID控制
制冷方式压缩机制冷
减震减震方式空气薄膜减震系统,确保2000X放大时画面不抖动
震动抑制在运动过程中以及起始或者停止时能够极快的速度保证设备的平稳≤1S,提高测试效率。
系统屏蔽EMI屏蔽> 30 dB (typical) @ 1 kHz to 1 MHz
光衰减 130   dB
光谱噪声基底   -180 dBVrms/rtHz ( 1   MHz)
系统交流噪声 5   mVp-p ( 1 GHz)
软件功能自动测量和补偿Wafer高度可对仪表的输入输出参数进行管理编程可实时显示测试结果
自动align,校准晶圆校水平可对测试结果进行bin值划分,判断器件好坏器件测试应用独立升级
自动测量Die size及生成map多系统集成迅速完成,可支持单点或连续测试强大的数据储存能力以及数据处理能力
任意wafer map 编辑支持ZN形等测试自动保存数据以及数据曲线,且数据可远程访问
差异数据的标定Ink mark一键自动校准RF探针模块,自动清针功能通讯接口:R232/485/TCP/IP/GPIB
操作系统与应用分离;操作系统可独立式升级,应用独立升级


深圳市森美协尔科技有限公司

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