来宝网Logo

热门词:生物显微镜 水质分析仪 微波消解 荧光定量PCR 电化学工作站 生物安全柜

山东博科
现在位置首页>计量器具>测绘/长度测量器具>激光干涉仪>Verifire 菲索型激光干涉仪
Verifire 菲索型激光干涉仪
Verifire 菲索型激光干涉仪
  • Verifire 菲索型激光干涉仪

Verifire 菲索型激光干涉仪

产品报价:1元

更新时间:2019/6/25 14:47:22

地:江苏

牌:ZYGO

号: Verifire

厂商性质: 生产型,贸易型,服务型,

公司名称: 昆山艾尔发计量科技有限公司

产品关键词: Verifire   菲索型   ZGYO   艾尔发   激光干涉仪  

99
访问人数
0
累计评论


许传国 : (18913285128) (0512-57384361)

(联系我时,请说明是在来宝网上看到的,谢谢!)


型号:BZY4-Verifire


货号:21041901


Verifire 菲索型激光干涉仪,具有专利QPSI测量模式,能够在振 动环境中检测,真正的共光路面形计量干涉仪。


ZYGO新一代激光干涉仪系列--Verifire 菲索型激光干涉仪,继承了工业标准GPI 激光干涉仪系列的所有优点,融合了机械相移技术、革命性的数据采集技术、高性能的光电成像系统、振动补偿软件、非球面测量技术和波纹抑制技术等,是ZYGO领先技术的集中体现。

 

Zygo最新推出用于在震动环境下测量的DynaFiz干涉仪。


技术参数:


 

 

 

货号

 

21041901
测量功能

 

精密测量各种反射面和光学系统的表面面形、精密测量光学系统的传输波前QPSI快速机械相移 模式和传统的机械相移干涉模式(PSI)

 

测量技术

 

QPSI快速机械相移模式和传统的机械相移干涉模式(PSI)

校准系统

 

快速条纹采样系统(QFAS) (双光点定位于十字线)

测量光束直径

 

4″(102mm)或6″(152mm)

对准视场范围FOV

 

4″:±3°;6″:±2°;

光学中心线

 

4.25″(108mm)

激光光源

 

大功率稳频氦-氖激光,IIIa级

波长

 

633 nm

频率稳定度

 

< 0.0001 nm

相干长度

 

>100m

成像分辨率

 

1024 x 1024像素

帧速

 

100Hz(PSI)

数据采集时间

 

130-300ms

数据模式

 

8位

放大

 

电控1-5X

偏振

 

接近圆偏振(1.2:1或者更好)

光曈调焦范围

 

4″:±2.5m;6″:±5.5m;

计算机和软件

 

高性能DELL PC,Windows7,64位,ZYGO专利软件 Metropro? 9和Metropro? X(2)

 

安装构造

 

水平卧式或垂直立式

尺寸(长x宽x高)

 

4″:69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.);6″:92 x 31 x 34cm (36.4 x 12.1 x 13.4 in.)

 

重量

 

4″:≤85lb(38Kg);6″:≤100lb(45Kg)

电源

 

100-240VAC,50/60Hz

 

工作环境(1)

 

 
温度

 

15°C - 30°C (59°F - 86°F)

温度变化率

 

<1.0°C/15min

湿度

 

相对湿度5% - 95% , 无凝结

隔振

 

QPSI模式可以在振幅不超过150nm的震动环境下进行测量;机械移相测量模式推荐使用被动隔振系统。

 

 

性能参数

 

 
RMS重复性(3)

 

< 0.06 nm, λ/10,000 (2σ)

RMS波前重复性(4)

 

< 0.35 nm,λ/1800 (mean + 2σ)

像素峰值偏差(5)

 

< 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %)


 

Verifire 菲索型激光干涉仪两种模式下测试有振动的腔

 

PSI模式 13位计算法          QPSI模式 5ms快门速度

 

 

注:

1 给出的环境参数是指可以操作使用的环境,不代表仪器要达到最好性能所需要的环境要求。

 

2 仅在MetroProX软件中有QPSI测量模式。

 

3 简单RMS重复性定义为对一个4英寸平面短腔,做36次连续测量(每次16次相位平均),所测得的RMS的标准差的2倍。

4 波前RMS重复性定义为,把测得的均方根差的平均值加上标准差的2倍作为波前RMS重复性。其中标准差定义为把奇数次测量的均值作为参考值,而把偶数次测量值相对于此均值求得标准差;计算基于36次连续测量(每次16次相位平均)。

 

5 像素峰值偏差:定义为对于36次连续测量(每次16次相位平均),取图像峰值标准差的99.5%;这个结果测量系统随时间变化的行为(或者A类不确定性)。