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FilmTek 2000膜厚测量仪
FilmTek 2000膜厚测量仪
  • FilmTek 2000膜厚测量仪

FilmTek 2000膜厚测量仪

产品报价:询价

更新时间:2019/2/12 9:41:41

地:美国

牌:SCI

号: FilmTek 2000

厂商性质: 贸易型,服务型,

公司名称: 杭州雷迈科技有限公司

产品关键词: FiilmTek 2000   薄膜特性   FilmTek 2000膜厚测量仪   薄膜测厚仪   膜厚仪  

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蒋新浩 : (13336187598) (0571-82733525)

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FilmTek 2000膜厚测量仪

 FilmTek 2000.jpg

SCI广泛应用于半导体,OLED/LCD, 光电,数据存储,显示器,微型机电系统以及光附膜产业,SCI的薄膜特性度量系统品种丰富,从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。

 

应用领域

半导体、微电子、MEMS、通讯、数据存储、光学镀膜、平板显示器、科学研究、物理、化学、生物、医药等

 

测量材料

半导体、介电材料、有机高分子聚合物、金属氧化物、金属钝化膜、自组装单分子层、多层膜物质和石墨烯等


1)Film Wizard? 软件 : 市面上功能最强大的,多用途,界面友好的薄膜测试模拟软件
应用实例,目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电,半导体行业的研发和生产行业。

2) FilmTek? 系统: SCI出产的基于分光光度技术的度量系统,有多种不同配置,配合不同需求.
1.多层厚度(1? 250 microns
2.折射率n
3.吸收系数k
4.双折射率
5.能隙(Eg
6.表面粗糙度和损伤
7.多孔性,薄膜成份,结晶度(EMA模式)
8.薄膜温度特性
9.晶元曲率和薄膜耐压性

技术参数
1.
厚度测试范围: 1? to 250 microns
2.
重复性:± 0°
3.
折射率精度:± 2*10-5
4.
光谱范围:380nm~1000nm190nm~1700nm可选)
5.
入射角:0°70°可选)
6.
测试速度:小于 15 s
7.
光斑直径:    小于 50 nm


FilmTek 2000是薄膜计量技术的一大突破。Filmtek 2000将光纤光谱仪和革命性的材料建模软件结合在一起,为同时测量薄膜厚度、折射率和消光系数提供了一个负担得起和可靠的工具。FilmTek 2000提供无与伦比的准确性,易用性和分析能力,在一个完全集成的软件包。最适合于图案化的设备晶片,FilmTek 2000米允许测量点的尺寸小到2μmFilmTek 2000 PAR利用SCI的专利抛物面反射镜技术开发的FilmTek 4000 EM-DUV达到50μm测量光斑大小,同时测量波长从深紫外到近红外。



FilmTek 2000膜厚测量仪技术参数

Measurement Features

FilmTek?

2000 / 3000

Index of Refraction折射率
  (at 2μm thickness)

±0.002

Thickness Measurement Range

膜厚范围

5nm-200μm

Maximum Spectral Range (nm)

最大光谱范围

190-1700

Standard Spectral Range (nm)

标准光谱范围

240-1000

Reflection

反射

Yes

Transmission

透射

Yes(3000)

Spectroscopic Ellipsometry

光谱椭圆分光法

 No

Power Spectral Density

Yes

Multi-angle Measurements   (DPSD)

No

TE & TM Components of   Index

            No

Multi-layer thickness

Yes

Index of Refraction

Yes

Extinction (absorption) Coefficient

Yes

Energy band gap

Yes

Composition

Yes

Crystallinity

Yes

Inhomogeneous Layers

Yes

Surface Roughness

Yes