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SHCV系列大功率自动探针台厂家
SHCV系列大功率自动探针台厂家
  • SHCV系列大功率自动探针台厂家

SHCV系列大功率自动探针台厂家

产品报价:100000元

更新时间:2019/4/15 14:14:08

地:广东

牌:semishare

号: SHCV

厂商性质: 生产型,

公司名称: 深圳市森美协尔科技有限公司

产品关键词: 探针台图片   探针厂家直销   探针台   半自动探针台   真空探针台  

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深圳市森美协尔科技有限公司 : (13570862550) (0755-26906952)

(联系我时,请说明是在来宝网上看到的,谢谢!)



大功率自动探针台SHCV
型号SHCV-6SHCV-8SHCV-12
外形860mm*850mm*700mm880mm*860mm*750mm1300mm*920mm*920mm
重量180KG250KG380KG
电力需求AC220V,50~60HZ
Chuck尺寸6英寸8英寸12英寸
X-Y轴行程6*6英寸8*8英寸12*12英寸
X-Y轴移动解析度0.1um
X-Y轴重复定位精度±1um
移动速度≥ 50 mm/sec
Z轴行程10mm
Z轴移动解析度0.1um
Z轴重复定位精度±1um
Theta角度行程±10°Theta角度解析度0.0001°
样品固定方式多孔真空吸附,独立分区控制
切换样品功能样品台快速拉出
结构同轴高压设计,镀金,电学独立悬空,可作为背电极使用
针座平台规格O型平台,最多可放置8个针座O型平台,最多可放置10个针座O型平台,最多可放置12个针座
行程&调节方式平台可以快速升降,行程 6mm并带自动锁定功能
温控特性温度范围100~20080~20060~200
温控精度温度分辨率  0.01°C
加热电源LVDC 低压直流
最低控温速率±0.1°C  /小时
传感器Pt100
制冷方式液氮制冷或者压缩机制冷
软件功能wafer map的编辑光学特性显微镜行程2*2inch
仪器的接入显微镜行程1um
数据的采集和图像化显示放大倍数20-4000X
数据的分析CCD像素50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字)
差异数据的标定Ink mark点针规格点针精度10微米/2微米/0.7微米
自定义BinX-Y-Z行程12mm-12mm-12mm
自动测试漏电精度  10pA/100fA
通讯接口:RS232/484TCP/IP/,GPIB接口形式香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴/SMASHV接口
大功率规格配置大功率kelvin样品台减震主动式减震系统,能够实现50X 物镜下画面不抖动
大功率夹具线缆可选附件射频测试chuck快速拉出装置
mult-pin 分流探针卡盘镀金PCB板夹具
大功率保护模块(针座用)激光修复液晶热点侦测套装
保护红外光幕,防止人员误进入工作区,触发时interlock互锁探针卡夹具光强/波长测试接口部件
大功率仪器连接模块屏蔽箱高低温样品台(-80~200℃)
最大测试电压10KV加热台显微镜倾仰装置
最大测试电流500A(脉冲)应用方向晶圆测试,功率器件半自动测试
  
特点:
Si/SiC/GaN等晶圆测试超高的测试精度和测试效率
大功率晶圆测试便捷的仪器接入
-80~200℃)高低温Chuck半自动测试
20~4000X光学显微放大可升级全自动测试
功能丰富的测试软件可升级射频测试