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SA-8全自动探针台厂家
SA-8全自动探针台厂家
  • SA-8全自动探针台厂家

SA-8全自动探针台厂家

产品报价:100000元

更新时间:2022/8/19 13:31:57

地:广东

牌:semishare

号:SA-8

厂商性质: 生产型,

公司名称: 深圳市森美协尔科技有限公司

产品关键词: 射频探针台   全自动探针台   半自动探针台   真空探针台  

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深圳市森美协尔科技有限公司 : (13570862550) (0755-26906952)

(联系我时,请说明是在来宝网上看到的,谢谢!)


SA量产型半自动/全自动探针台
型号SA-6/SA-8/SA-12外形1500(长)*1700(宽)*1100()
重量1700kg电力需求/功率220VAC±10V/50Hz/2.2KW
规格参数能够测试的晶圆直径6,”8”,12”
晶圆厚度300≤T≤1000um(标准)  300T(薄片机型)
晶圆厚度偏差 50um 
Index time300ms(标准速度, die尺寸 10mm , 包括Z上下0.3mm移动的时间)
Chuck 具备5轴移动机构 X/Y/Z/theta/F
X-Y轴行程 380mm, 最高速度300mm/s, 分辨率0.1um 
XY全行程机械定位精度±2um(环境温度在±1°以内波动时)
XY最大速度300mm/s
Chuck平面度≤5 um
Z轴行程37mm,探针分离高度0.3mm,速度30毫秒/0.3mm 
Z轴移动解析度0.1um
Z轴定位精度±2um
Theta ±5°/0.0001°
光栅尺0.1um光栅尺 
预对位平台光学原理检测, 平边或者notch ±1°定位精度 
晶圆机械手陶瓷机械手,cassette *1
晶圆装载单元一个升降单元,预对位单元,晶圆传输子单元以及他们的接口
自动对位系统自动水平扫描、自动第一测试点定位、自动测试中心定位
自动上下片系统料盒安全保护、晶圆定位边预对准
精确对位单元pattern matching
位移传感器采用静电容传感器  分辨率 2um option)
照明同轴卤素灯照明或LED光源
视场低倍情况:4.9*3.6mm 中倍情况:1*0.72mm 高倍情况:0.49*0.36mm
PC配置I5CPU4G内存,128G固态硬盘等
LCD 显示器对位显示为黑白,其他显示为彩色,中文
键盘单元大小 15*15mm, 46 字母数字
报警器(三色灯)红,黄,绿
操作场地要求2200mmX2200mm
操作界面Windows中文操作界面,中文MAPING动态显示 
标记上下标记 ,标记可以实时或者离线标记,标记耗时15~300ms,采用ink或者Laser 
可以采用的cassette形式 FOUP 12/8/6”(13或者25)light FOUP 12/8/6”(13或者25)12/8/6” open cassette 
可选附件自动磨针台可以兼容高频测试头晶圆ID 识别功能
可以匹配自动晶圆盒取放设备(AGV or OHT) 直接和晶圆传输控制电脑或者服务器通讯
FOUP(front open unified Pod)有别于普通open cassette , 带有洁净气体单元(mini environment),可以在晶圆传输过程保持洁净在Class100洁净室里面,探针台内部可以达到Class 1“主体包括:控制盒,TTLRS232GBIP测试机接口


深圳市森美协尔科技有限公司

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手机:13570862550

联系人:深圳市森美协尔科技有限公司

电话:0755-26906952

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QQ:417155104

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