THERMCO公司260X型科研型高温氧化炉LPCVD

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更新时间：2019/5/28 17:53:39

产地：英国

品牌：Thermco

型号：260X

厂商性质：生产型,贸易型,服务型,

公司名称：北京创世杰科技发展有限公司

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张先生 : (13911514522) (010-13911514522)

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英国Thermco Systems公司成立于1962年，是世界上著名的卧式扩散炉、氧化炉、退火炉、合金化炉及LPCVD炉的制造商，在全球各处的半导体制造厂里都有大量的安装应用，迄今为止安装记录已超过20000管。

Thermco专为科研客户对于占地面积小、消耗低而设计了高可靠性和稳定性的260X型扩散炉、氧化炉和LPCVD。

产品应用

标准半导体工艺

·LPCVD氮化硅（标准型)

·LPCVD氮化硅（低应力型）

·LPCVD斜坡温度多晶硅
·LPCVD一致晶粒多晶硅
·LPCVD氧化层TEOS（正硅酸乙脂）
·LPCVD VLTO（低温氧化）
·LPCVD BPSG（硼磷硅玻璃）
· 高温氧化

· 干法氧化

· 湿法氧化

· 掺杂扩散（3-4路液相掺杂管路 ( POCL3 or BBR3)）

· 5-6路TCA或Hcl气路

· 混合气体退火
· 高温热回火
· 低温退火和合金化

· 高温驱入（Drive in）

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| 第13年

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