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MIS-CA1804T/MIS-CA1303T东光高岳半导体用光掩模缺陷检查装置 衡鹏供应
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MIS-CA1804T/MIS-CA1303T东光高岳半导体用光掩模缺陷检查装置 衡鹏供应

产品报价:询价

更新时间:2018/8/29 15:06:11

地:日本

牌:东光高岳

号:MIS-CA1804T

厂商性质: 贸易型,服务型,

公司名称: 上海衡鹏实业有限公司

产品关键词: 东光高岳   半导体用光掩模缺陷检查装置   MIS-CA1303T   MIS-CA1804T  

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陈静静 : (13901841523) (021-33685826)

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MIS-CA1804T/MIS-CA1303T东光高岳半导体用光掩模缺陷检查装置 衡鹏供应



TAKAOKA TOKO东光高岳MIS-CA1804T/MIS-CA1303T半导体用光掩模缺陷检查装置特点:

·高速,高感度Die-DB检查

·可以很灵敏的检测出CD缺陷

·可以离线回放检查

(如果需要在离线回放检查时同时进行处理,需要另外追加 PC设备)

·可以进行Die和DB检查领域的混合检查(选配项)

   Allowed combination inspection of Die-DB and Die-Die

·可以对应MIS-CA1804T / 180nm设计规则

  (最小检出缺陷尺寸:250nm)

·可以对应MIS-CA1303T / 130nm设计规则

  (最小检出缺陷尺寸:180nm)






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