功能 | 多通道气体动态配气仪 |
基本型号 | MT系列 |
配比范围 | 1ppm以上,根据要求定制 |
精度(%) | ±1 |
控制阀动作形式 | 长闭式 |
被稀释气体 | C02 ,NO,S02,CO,H2S,02,CH4等各种带酸性,碱性气体. |
配气通道 | 二通道,三通道,四通道等,******可达十几种气体配比 |
载气 | 空气,氮气,氩气等气体 |
配气流量 | 5SCCM-30SLM范围可选 |
线性(%F.S) | ±0.5 |
重复精度(%F.S) | ±0.2 |
响应时间(sec) | ≤2 |
设备输出信号 | RS232或RS485 |
电器接头 | DB15pin DB14pin DB9pin 接头 |
工作环境 | 5-55(℃) |
工作压差 | 0.05-0.5MPA |
漏率 | 1X10-7SCCMHe |
******耐压 | 3MPA |
介质接触材质 | 304 316 316L |
密封材料 | 氟橡胶,硅橡胶,丁晴橡胶,聚四氟乙烯,金属密封性 |
接头尺寸 | Swagelok 1/8 , 1/4 ,3/8,或φ3,φ6,φ8 φ10 φ12 |
电源要求 | 220V, 2A |