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lynceetec数字全息显微镜DHM R2200
lynceetec数字全息显微镜DHM R2200
  • lynceetec数字全息显微镜DHM R2200

lynceetec数字全息显微镜DHM R2200

产品报价:2000000元

更新时间:2019/5/30 10:01:15

地:其他国家

牌:lynceetec

号:R2200

厂商性质: 生产型,贸易型,服务型,

公司名称: 上海瞬渺光电技术有限公司

产品关键词: 动态形貌   lynceetec   数字全息显微   DHM   MEMS  

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杜先生 : (15800418863) (021-34635258)

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lynceetec数字全息显微镜DHM R2200在微纳检测和MEMS应用中瑞士Lyncée Tec数字全息显微镜DHM?具有4D实时显微独特优势

      Lyncée Tec作为DHM行业领导者, 国内用户有北京大学、清华大学、华中科技大学等知名学府。
      DHM 相比其他显微术的独特优势:
1、全视场、非扫描、非接触光学成像,实时动态三维成像。2、 亚纳米级的垂直测量分辨力。3、 具有频闪模式实现微结构运动特性测量    
动态形貌——膜形变      MEMS测振分析——惯性传感器        三维形貌——粗糙度析   
DHM独一无二的4D形貌测试功能    
时间分辨动态轮廓                    全息MEMS测振分析
高达1000帧/秒的动态形貌时序图                    MEMS振动可测频率高达25MHz                    
        ?  静态&超快动态形貌分析(无需扫描,动态可测高度:台阶15um,连续结构200um)                            ? 面内面外振幅分析(面内振幅测量精度1nm,面外振幅测量    精度5pm)                    
        ?  表征样品动态响应                            ?   频率共振分析和响应分析                    
        ?  气体、液体、真空或透过玻璃等多种环境下测量                             ?  复杂运动表征,振动模态表征,样品动态三维形貌                    
4D反射测量                    高速光学三维质量检测
表征透明/半透明形貌                    在线检测速度可达15厘米/秒                    
        ?  测量厚度从几纳米到几十微米                             ?  振动不敏感                    
        ?  可测最高三层透明薄膜                            ?  无需校准                    
        ?  测量薄膜折射率                            ?  高速测量                    


典型用户    


采购单位名称                        

采购时间                        

应用                        

北京大学                        

2016-12-29                        

搭建平面应变鼓膜实验平台测量纳米薄膜的动态力学性能                        

清华大学                        

2014-11-172014-08                        

精仪系>光学及长度计量实验室 型号:DHM-T2103

浙江师范大学                        

2012-12-282010-09                        


华中科技大学                        

2014-08                    

微纳制造与测试,微小光学元件检测,微电子制造封装与测试                        

天津大学                        

2010-09                    

微结构表面形貌和运动特性测量                        

东南大学                        



苏州大学                        



lynceetec数字全息显微镜DHM R2200

反射式数字全息显微镜DHM?系列(DHM-R1000, DHM-R2100 、 DHM-R2200)

动态可测垂直高度(无须扫描情况下)

连续结构:最高 200 μm


台阶:最高15 μm

水平分辨率

由所选物镜决定最高 333 nm@100×

垂直精度

 小至 0.15 nm

垂直分辨率
(
定义为两倍于精度)

 小至 0.30 nm

精度
(
定义为对单一像素点做30次测量后取时域标准差)

小至 0.01 nm

垂直校准

由干涉滤波决定±0.1 nm

垂直扫描下的可测垂直高度

由电动样品台决定,最高达 10 mm

视场

由所选物镜决定66μm×66μm 5 mm x 5 mm

图像抓取速率

标准:155fps (1024 x 1024). (可选最高 1000 fps).

图像抓取时间

标准60 μs (可选高速只需 10 μs)

工作距

由所选物镜决定0.3 mm  18 mm

数字自动聚焦范围

由所选物镜决定 最大可达景深的 50

视场

 1024 x 1024 像素点

工作距

 < 1%

采样空间

 1024 x 1024 像素点

最低可测样品反射率
(
仅对反射式 DHM )

< 1%

·              lynceetec数字全息显微镜DHM R2200更多海内外应用客户暂未列出,敬请谅解