爱德华分子泵销售报价,爱德华分子泵STP-iX455
马先生 : (15312144650) (0512-65931579)
(联系我时,请说明是在来宝网上看到的,谢谢!)马先生 : (15312144650) (0512-65931579)
(联系我时,请说明是在来宝网上看到的,谢谢!)EDWARDS STP-iX455涡轮分子泵具有创新性磁力轴承和电机驱动系统,与上一代涡轮泵相比将振动降低了
50%。采用集成的控制器,不需要使用传统的安装于机架上的控制器及互连电缆,不需要水冷却。
EDWARDS STP-iX455涡轮分子泵的氮气抽速为 450
ls-1。EDWARDS STP-iX455 极为适合电子显微镜、度量学、光刻和其他对振动敏感的应用。
爱德华分子泵销售报价,爱德华分子泵STP-iX455应用:
薄膜沉积
CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
离子注入源,射束线泵送端点站
金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
电子回旋共振
(ECR)
刻蚀
晶体/晶膜生长
晶片检查
MBE
扩散
光致抗蚀剂脱模
高能物理:射束线、加速器
放射线应用:融合系统、回旋
负载锁真空腔
科学仪器:表面分析、质谱分析、电子显微镜
爱德华分子泵销售报价,爱德华分子泵STP-iX455技术参数:
入口法兰 | ISO100K |
抽速 | |
N2 | 300 ls-1 |
H2 | 300 ls-1 |
压缩比 | |
N2 | >108 |
H2 | >1 x 104 |
极限压力 | 6.5 x 10-6 Pa |
最大工作压力 | 1.3 x 10-1 Pa |
允许的前级压力 | 67 Pa |
额定速度 | 55000 rpm |
启动时间 | <6 分钟 |
固定位置 | 任何方向 |
冷却方法 | 自然冷却(加热和气体泵送时进行水冷却或空气冷却) |
润滑油 | 不需要 |
前级泵 | 240 lmin-1 |
泄露磁通量 | |
轴向方向 | <100 m/Gauss |
径向方向 | <100 m/Gauss |
环境温度范围 | 0 至 40 °C |
存储温度范围 | -25 至 55 °C |
重量 | 15 kg |
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