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爱德华分子泵销售报价,爱德华分子泵STP-iX455
爱德华分子泵销售报价,爱德华分子泵STP-iX455
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爱德华分子泵销售报价,爱德华分子泵STP-iX455

产品报价:询价

更新时间:2017/7/24 10:50:56

地:英国

牌:Edwards

号:STP-iX455

厂商性质: 生产型,贸易型,服务型,

公司名称: 苏州美欧机电有限公司

产品关键词:

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马先生 : (15312144650) (0512-65931579)

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EDWARDS STP-iX455涡轮分子泵具有创新性磁力轴承和电机驱动系统,与上一代涡轮泵相比将振动降低了 50%。采用集成的控制器,不需要使用传统的安装于机架上的控制器及互连电缆,不需要水冷却。
EDWARDS STP-iX455涡轮分子泵的氮气抽速为 450 ls-1。EDWARDS STP-iX455 极为适合电子显微镜、度量学、光刻和其他对振动敏感的应用。


爱德华分子泵销售报价,爱德华分子泵STP-iX455应用:
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
离子注入源,射束线泵送端点站
金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
晶体/晶膜生长
晶片检查
MBE
扩散
光致抗蚀剂脱模
高能物理:射束线、加速器
放射线应用:融合系统、回旋
负载锁真空腔
科学仪器:表面分析、质谱分析、电子显微镜




爱德华分子泵销售报价,爱德华分子泵STP-iX455技术参数:

入口法兰

ISO100K

抽速


N2

300  ls-1

H2

300  ls-1

压缩比


N2

>108

H2

>1 x  104

极限压力

6.5 x  10-6 Pa

最大工作压力

1.3 x  10-1 Pa

允许的前级压力

67  Pa

额定速度

55000  rpm

启动时间

<6 分钟

固定位置

任何方向

冷却方法

自然冷却(加热和气体泵送时进行水冷却或空气冷却)

润滑油

不需要

前级泵

240  lmin-1

泄露磁通量


轴向方向

<100  m/Gauss

径向方向

<100  m/Gauss

环境温度范围

0 40  °C

存储温度范围

-25 55  °C

重量

15  kg


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苏州美欧机电有限公司

| 第9

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联系人:马先生

电话:0512-65931579

传真:0512-62388767

QQ:344419219

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