型号 | SM-4 | SM-6 mini | SM-6 | |
外形 | 400mm长*400mm宽*550mm高 | 400mm长*400mm宽*550mm高 | 680mm长*530mm宽*550mm高 | |
重量 | 约30KG | 约35KG | 约45KG | |
电力需求 | 220VC,50~60Hz | |||
样品台 | 尺寸 | 4英寸,可360度旋转 | 6英寸,可360度旋转 | 6英寸,可360度旋转 |
X-Y行程 | 4*4英寸 | 4*4英寸 | 6*6英寸 | |
移动精度 | 10um/1um | |||
样品固定方式 | 真空吸附 | |||
背电极测试功能 | 有,样品台电学独立悬空 | |||
针座平台 | U型平台,最多可放置6个针座 | U型平台,最多可放置8个针座 | ||
光学特性 | 显微镜行程 | 可360度旋转,Z轴:50.8mm | ||
放大倍数 | 16~100X (200X可选) | |||
CCD像素 | 50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字) | |||
点针规格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm | ||
机械精度 | 10微米/2微米/0.7微米 | |||
漏电精度 | 10pA/100fA (配置屏蔽箱时) | |||
接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口 | |||
可选附件 | 加热台 | |||
屏蔽箱 | ||||
转接头 | ||||
防震台 | ||||
镀金卡盘 | ||||
同轴/三轴卡盘 | ||||
样品台快速升降,微调升降装置选件 | ||||
样品台旋转微调选件 | ||||
光强/波长测试选件 | ||||
射频测试附件 | ||||
有源探头 | ||||
低电流/电容测试选件 | ||||
兼容积分球测试选件 | ||||
光纤夹具耦合测试选件 | ||||
PCB/封装夹具测试选件 | ||||
特殊定制 | ||||
应用方向 | 芯片及LD/LED/PD测试,PCB/封装夹具测试,射频测试等。 |