高性能磁控溅射镀膜系统
产品报价:询价
更新时间:2013/12/22 19:48:00
产地:法国
品牌:法国品牌
型号:700S
厂商性质: 生产型,贸易型,服务型,
公司名称: 上海续波光电技术有限公司
肖先生 : (15502170017) (15502170017)
(联系我时,请说明是在来宝网上看到的,谢谢!)产品报价:询价
更新时间:2013/12/22 19:48:00
产地:法国
品牌:法国品牌
型号:700S
厂商性质: 生产型,贸易型,服务型,
公司名称: 上海续波光电技术有限公司
肖先生 : (15502170017) (15502170017)
(联系我时,请说明是在来宝网上看到的,谢谢!)磁控溅射镀膜系统——用于超导体(Nb, NbN, NbTiN )
圆柱形主腔体:电抛光不锈钢
低温泵+干泵,真空度< 4×10 -8 Torr。
三个6’’ DC磁控靶源,最大可达8英寸;
分别配备独立挡板,无交叉污染。
RF加载到DC靶源可选,可用DC/RF。
氩气和氮气气路可用
4’’衬底加热:最高750℃, 均匀性5℃内;单色光学高温计
样品台冷却:水冷
石英晶振监测(DC/RF模式下均可)
衬底RF刻蚀及偏压(13.56MHz,气冷)
LOAD LOCK (带自动传动手臂)
分子泵+干泵,真空度< 2×10-7 Torr
全自动传动衬底
控制单元:全自动电脑控制,半自动和手动模式可选;远程维护可用。
典型用户包括:格拉斯哥大学、法国波尔多第一大学、法国科学研究中心(CNRS)、CEA、加拿大滑铁卢大学等。欢迎联系我们索取详细资料!