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高性能磁控溅射镀膜系统
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高性能磁控溅射镀膜系统

产品报价:询价

更新时间:2013/12/22 19:48:00

地:法国

牌:法国品牌

号:700S

厂商性质: 生产型,贸易型,服务型,

公司名称: 上海续波光电技术有限公司

产品关键词:

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肖先生 : (15502170017) (15502170017)

(联系我时,请说明是在来宝网上看到的,谢谢!)


磁控溅射镀膜系统——用于超导体(Nb, NbN, NbTiN )  

圆柱形主腔体:电抛光不锈钢

         低温泵+干泵,真空度< 4×10 -8 Torr。

                     

         三个6’’ DC磁控靶源,最大可达8英寸;

         分别配备独立挡板,无交叉污染。

         RF加载到DC靶源可选,可用DC/RF。

         氩气和氮气气路可用

         4’’衬底加热:最高750℃, 均匀性5内;单色光学高温计

         样品台冷却:水冷

         石英晶振监测(DC/RF模式下均可)

         衬底RF刻蚀及偏压(13.56MHz,气冷)

LOAD LOCK (带自动传动手臂)

         分子泵+干泵,真空度< 2×10-7 Torr

         全自动传动衬底

控制单元:全自动电脑控制,半自动和手动模式可选;远程维护可用。

典型用户包括:格拉斯哥大学、法国波尔多第一大学、法国科学研究中心(CNRS)、CEA、加拿大滑铁卢大学等。欢迎联系我们索取详细资料!