日立扫描电子显微镜SU9000(SEM)
日立扫描电子显微镜SU9000(SEM)简介:
日立扫描电子显微镜SU9000(SEM)是日立公司2011年推出的超高分辨冷场发射扫描电镜,达到当时扫描电镜世界Z高二次电子分辨率0.4nm和STEM分辨率0.34nm。
日立SU9000采取了新改进的真空系统和电子光学系统,不仅分辨率性能明显提升,而且作为一款冷场发射扫描电镜甚至不需要传统意义上的Flashing操作,可以高效率的快速获取样品超高分辨扫描电镜图像。
日立扫描电子显微镜SU9000(SEM)的特点:
1. 新型电子光学系统设计达到扫描电镜分辨率:二次电子0.4nm(30KV),STEM 0.34nm(30KV)。
2. Hitachi专利设计的E×B系统,可以自由控制SE和BSE检测信号。
3. 全新真空技术设计使得SU9000冷场发射电子束具有超稳定和高亮度特点。
4. 全新物镜设计显著提高低加速电压条件下的图像分辨率。
5. STEM的明场像能够调整信号检测角度,明场像、暗场像和二次电子图像可以同时显示并拍摄照片。
6. 与FIB兼容的侧插样品杆提高更换样品效率和高倍率图像观察效率。
日立扫描电子显微镜SU9000(SEM)的技术参数:
项目 | 技术指标 | ||
二次电子分辨率 | 0.4nm (加速电压30kV,放大倍率80万倍) | ||
1.2nm (加速电压1kV,放大倍率25万倍) | |||
STEM分辨率 | 0.34nm(加速电压30kV,晶格象) | ||
观测倍率 | 底片输出 | 显示器输出 | |
LM模式 | 80~10,000x | 220~25,000x | |
HM模式 | 800~3,000,000x | 2,200~8,000,000x | |
样品台 | 侧插式样品杆 | ||
样品移动行程 | X | ±4.0mm | |
Y | ±2.0mm | ||
Z | ±0.3mm | ||
T | ±40度 | ||
标准样品台 | 平面样品台:5.0mm×9.5mm×3.5mmH | ||
截面样品台:2.0mm×6.0mm×5.0mmH | |||
专用样品台 | 截面样品台:2.0mm×12.0mm×6.0mmH | ||
双倾截面样品台:0.8mm×8.5mm×3.5mmH | |||
信号检测器 | 二次电子探测器 | ||
TOP 探测器(选配) | |||
BF/DF 双STEM探测器(选配) |