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商品编号:77753
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Diener 等离子清洗机 ATTO

价    格:询价

产    地:德国更新时间:2023/10/27 13:38:46

品    牌:Diener electronic型    号:ATTO

状    态:正常点击量:743

18621321000
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上海尔迪仪器科技有限公司

联 系 人:李志鹏

电     话:021-61552797

传     真:021-33250320

等     级: (第 12年)

性     质:生产型,贸易型,服务型,

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Diener 等离子清洗机 ATTO 核心参数

  • 功率

    <200W、


Diener 等离子清洗机 ATTO

10.5 升的LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ATTO 为手动型,配有 PC 和 PCCE 控制系统,主要用于以下领域:

  • 小批量生产

  • 分析 (REM, TEM)

  • 医疗技术

  • 灭菌

  • 研究和开发部门

  • 考古

  • 纺织技术

  • 塑料技术

特点

· 低压等离子系统,用于不同材料表面的处理

· 配置自动/手动模式,实现控制高机能

· 10.5L腔体可处理多种样品

· 适合于研究院、高校、研发中心使用

· 8” Wafer去胶清洗




技术规格:

型号

ATTO

ATTO PCCE

控制系统

手动控制

PCCE 控制系统

工艺气路

双路气体

工艺气体

O2ArN2CO2H2Air

单体导入

H2O等单体(选配)

流量计

针阀流量计

MFC流量计

真空

腔体

材质

高硼硅玻璃腔体,盖子门带观察窗(石英,铰链门选配)

内尺寸(Dia.×D)

211×300mm

容积

10.5L

电极

360度外置环绕电极

发生器*

 

40KHz     0~200 W

13.56MHz  0~50 W

13.56MHz  0~300 W

真空压力计

指针式压力计(选购)

皮拉尼数字式压力计

计时器

旋钮式(选购)

数字式

托盘

高硼硅玻璃(石英选配)W200xD260xH5mm

外形尺寸(WXDxHmm

525x450xD450

电源

AC220V 50Hz 10A

真空泵

排气速度8m3/H


 




产品介绍


等离子设备 Atto,配有手动控制系统、等离子清洗器、等离子灰化器、等离子蚀刻机、等离子活化系统,用于小批量工艺研发、清洗、活化、蚀刻等离子设备 Atto,配有外部 PC 控制系统、等离子清洗器、等离子灰化器、等离子蚀刻机、等离子活化系统,用于小批量工艺研发、清洗、活化、蚀刻 - 等离子系统等离子设备 Atto,配有内置式 PC 控制系统、等离子清洗器、等离子灰化器、等离子蚀刻机、等离子活化系统,用于小批量工艺研发、清洗、活化、蚀刻 - 等离子系统

Diener 等离子清洗机 ATTO

Diener 等离子清洗机 ATTO

技术规格:

型号

ATTO

ATTO PCCE

控制系统

手动控制

PCCE 控制系统

工艺气路

双路气体

工艺气体

O2ArN2CO2H2Air

单体导入

H2O等单体(选配)

流量计

针阀流量计

MFC流量计

真空

腔体

材质

高硼硅玻璃腔体,盖子门带观察窗(石英,铰链门选配)

内尺寸(Dia.×D)

211×300mm

容积

10.5L

电极

360度外置环绕电极

发生器*

 

40KHz     0~200 W

13.56MHz  0~50 W

13.56MHz  0~300 W

真空压力计

指针式压力计(选购)

皮拉尼数字式压力计

计时器

旋钮式(选购)

数字式

托盘

高硼硅玻璃(石英选配)W200xD260xH5mm

外形尺寸(WXDxHmm

525x450xD450

电源

AC220V 50Hz 10A

真空泵

排气速度8m3/H




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