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Diener 等离子清洗机 ATTO
Diener 等离子清洗机 ATTO
联 系 人:李志鹏
电 话:021-61552797
传 真:021-33250320
等 级: (第 12年)
性 质:生产型,贸易型,服务型,
联系我时请说在来宝网上看到的,谢谢!
Diener 等离子清洗机 ATTO
10.5 升的LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ATTO 为手动型,配有 PC 和 PCCE 控制系统,主要用于以下领域:
小批量生产
分析 (REM, TEM)
医疗技术
灭菌
研究和开发部门
考古
纺织技术
塑料技术
特点
· 低压等离子系统,用于不同材料表面的处理
· 配置自动/手动模式,实现控制高机能
· 10.5L腔体可处理多种样品
· 适合于研究院、高校、研发中心使用
· 8” Wafer去胶清洗
技术规格:
型号 | ATTO | ATTO PCCE |
控制系统 | 手动控制 | PCCE 控制系统 |
工艺气路 | 双路气体 |
工艺气体 | O2,Ar,N2,CO2,H2,Air等 |
单体导入 | H2O等单体(选配) |
流量计 | 针阀流量计 | MFC流量计 |
真空 腔体 | 材质 | 高硼硅玻璃腔体,盖子门带观察窗(石英,铰链门选配) |
内尺寸(Dia.×D) | 211×300mm |
容积 | 10.5L |
电极 | 360度外置环绕电极 |
发生器* | 40KHz 0~200 W 13.56MHz 0~50 W 13.56MHz 0~300 W |
真空压力计 | 指针式压力计(选购) | 皮拉尼数字式压力计 |
计时器 | 旋钮式(选购) | 数字式 |
托盘 | 高硼硅玻璃(石英选配)W200xD260xH5mm |
外形尺寸(WXDxH)mm | 525x450xD450 |
电源 | AC220V 50Hz 10A |
真空泵 | 排气速度8m3/H |
产品介绍
等离子设备 Atto,配有手动控制系统、等离子清洗器、等离子灰化器、等离子蚀刻机、等离子活化系统,用于小批量工艺研发、清洗、活化、蚀刻 | 等离子设备 Atto,配有外部 PC 控制系统、等离子清洗器、等离子灰化器、等离子蚀刻机、等离子活化系统,用于小批量工艺研发、清洗、活化、蚀刻 - 等离子系统 | 等离子设备 Atto,配有内置式 PC 控制系统、等离子清洗器、等离子灰化器、等离子蚀刻机、等离子活化系统,用于小批量工艺研发、清洗、活化、蚀刻 - 等离子系统 |
Diener 等离子清洗机 ATTO
Diener 等离子清洗机 ATTO
技术规格:
型号 | ATTO | ATTO PCCE |
控制系统 | 手动控制 | PCCE 控制系统 |
工艺气路 | 双路气体 |
工艺气体 | O2,Ar,N2,CO2,H2,Air等 |
单体导入 | H2O等单体(选配) |
流量计 | 针阀流量计 | MFC流量计 |
真空 腔体 | 材质 | 高硼硅玻璃腔体,盖子门带观察窗(石英,铰链门选配) |
内尺寸(Dia.×D) | 211×300mm |
容积 | 10.5L |
电极 | 360度外置环绕电极 |
发生器* | 40KHz 0~200 W 13.56MHz 0~50 W 13.56MHz 0~300 W |
真空压力计 | 指针式压力计(选购) | 皮拉尼数字式压力计 |
计时器 | 旋钮式(选购) | 数字式 |
托盘 | 高硼硅玻璃(石英选配)W200xD260xH5mm |
外形尺寸(WXDxH)mm | 525x450xD450 |
电源 | AC220V 50Hz 10A |
真空泵 | 排气速度8m3/H |