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商品编号:75402
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PLUTO-ME定制型等离子表面处理系统

价    格:询价

产    地:上海更新时间:2019/9/20 17:28:46

品    牌:PLUTOVAC型    号:PLUTO-ME

状    态:正常点击量:72

18049905701
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上海沛沅仪器设备有限公司

联 系 人:

电     话:021-58463480

传     真:

等     级: (第 1年)

性     质:生产型,

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PLUTO-ME定制型等离子表面处理系统 核心参数

  • 功率

    <500W、


产品特点:

我们的团队拥有丰富的学术和工作背景,使用和设计经验极为成熟。产品涉及各个等离子体应用领域

极为稳定的设备性能和拥有对功能变化带来性能增减的把控能力

成熟稳定的供应商体系和部件加工能力

完善的性能测试体系,保证每一个部件都能满足设计要求

产品参数:


可定制不同规格的腔体,包括圆形(水平);圆形(垂直),方形

可定制不同形状处理电极(阴极和阳极),包括垂直和水平的样品摆放方式

可定制不同材质的腔体,316不锈钢或者6061铝合金腔体

(我们坚持使用316不锈钢和6061铝合金材质,在保证腔体整体加工质量同时,也保证气体和射频发生器在真空状态工作时产生的等离子体的浓度和腔体提供保障)

样品温度控制

其他功能


应用领域:

 

污染物清洗

清洗玻璃、金属、陶瓷、塑料等材料表面的有机物及其他污染物

 

表面活化

利用等离子体轰击样品表面,改变样品表面张力和活性

 

镀膜

采用等离子断键功能的专用装置,将镀膜材料以纳米级厚度均匀覆盖样品表面

 

等离子体刻蚀

对半导体材料、集成电路板、PCB板、塑料制品等材料进行刻蚀

 

等离子体反应

特别的工艺手段和装置,可以实现等离子体与样品的化学反应,并得到相应物质

 

粉体处理

粉体专用装置,可实现纳米级颗粒的等离子体均匀处理,实现各项性能

 



产品参数

1. 真空腔规格: 316不锈钢腔体,直径210mm*(深)230mm 约4L

2. 电极:两个自适应平板电极,材质T6061铝合金

3. 电极尺寸:120*135mm 间距20~75mm 可调

4. 等离子体发生器:RF射频发生器,频率:13.56MHz

5. 功率:0-300W连续可调,精度1W

6. 气体控制:针式气体流量阀,标配1路气体

7. 控制方式:4.3寸工业控制触摸屏

控制软件功能:界面显示实时工作状态,

可显示设置值与实际值,便于实时控制。

可自由设置等离子功率,通入气体时间

全手动控制和全自动控制可选

8. 保护装置:一键急停保护按钮

 



产品介绍

    

ALC

纯铝腔体

 

RF-300

等离子体发生器

频率13.56MHz 0-300W自动阻抗匹配电源

可调电极

可调节电极间距

电极间距20-60mm可调,改变等离子体场浓度特性

CM装置

沉积镀膜模块

用于改变表面特性:

1. 沉积CF材料,样品表面可以具有憎水的特性

2. 沉积含苯材料,样品表面起到绝缘防水的特性

3. 沉积含有羟基的材料,提高样品表面和其他材料的结合效果。

GP装置

气体纯化装置

 

PPU

粉体处理装置

用于处理微纳米级别颗粒

 

气体收集装置

用于收集等离子体化学反应后的气体

 

小型氧气发生器

用于制备氧气,可取代氧气罐

 

气体混合装置

可以根据可以要求进行混气设计

 

感应耦合模块

感应耦合等离子体装置

 

加热电极模块

电极可以加热,室温~200度可调。

 

光谱仪模块

可以增加光谱仪的接口,检测等离子体光谱变化

 

电极转换模块

可以自由变换电极设计,样品可以放在射频电极上,也可以放在地电极上。从而实现不同的处理效果。

抽气装置:

推荐型号:飞跃 VRD-8  二级油泵

尺寸:495x160x237mm   功率:1000W   抽气速率:8m3/h




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