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商品编号:62713
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Diener electronic Plasma 等离子清洗机 Tetra30

价    格:询价

产    地:德国更新时间:2019/7/15 13:41:34

品    牌:Diener electronic型    号:Tetra30

状    态:正常点击量:689

18621321000
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上海尔迪仪器科技有限公司

联 系 人:李志鹏

电     话:021-62211270

传     真:021-33250320

等     级: (第 7年)

性     质:生产型,贸易型,服务型,

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Diener等离子表面处理设备                         德国原装进口

德国Diener是专门生产经济、可靠的等离子清洗和等离子刻蚀设备的公司, 是世界上材料处理低温等离子体设备的市场和技术领先者。Diener采用先进的集成化技术开发生产射频频率为40KHz 80KHz13.56MHz,以及代表等离子应用最先进技术的2.45GHz的等离子清洗机。

 

目前设备广泛应用于:等离子清洗、刻蚀、灰化、涂镀和表面处理。产品主要分布在真空电子、LED、太阳能光伏、集成电路、生命科学、半导体科研、半导体封装、芯片制造、MEMS器件等领域。其设备生产零件均选用其零件行业的最优质产品,以保证性能技术稳定。

 



产品参数

Diener Tetra30 Plasma 

 

主要技术参数:

1.   *便捷的PC触摸屏控制,操作系统为Windows CE5.0(ARM)

2.   *根据工艺要求不同,可设定功率、压强、气体流量与时间等参数       

3.   双路工作气体,气体流量通过数字式流量计(MFC)控制

4.   *反应舱为不锈钢,宽305mm ×深625 mm×高300 mm,容积约为50L

5.   高周波电流频率13.56MHz,功率0~300W

6.   反射波自动调节,无须手工调节

7.   电极材质为铝/不锈钢

8.   运行模式为手动/自动

9.   *可存储多套工艺程序,图表实时显示工艺过程

10.真空泵的排气能力为16m3/Hour,配有强制进气阀

11.*配有压力传感器,可根据工艺要求设定压力值

12.电源电压:400V /16A



产品介绍

德国diener等离子表面处理设备特点:

  • 等离子清洗机清洗效果好,效率高,应用范围广。

  • 对清洗样品,没有任何材质、外观尺寸等要求

  •  等离子清洗过程中,温升很小,基本可达到常温处理。

  • 射频功率无极连续可调。

  •  高效的特制电极,是产生均匀等离子体的保证。

  • 特制电极和托盘结构,可充分利用真空舱体内部空间,使处理效率最大化,同时也可保证样品可得到全面有效的清洗。

  •  特有的过载、短路和过热保护电路,可保证射频电源的稳定和安全。

  • 设备整体模块化设计,安装与维护极为简单。

 

德国diener等离子表面处理设备的应用范围:   

                                   

  •     清洗电子元件、光学器件、激光器件、镀膜基片、芯片。

  •     清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片。

  •         移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质。

  •         清洗ATR元件、各种形状的人工晶体、天然晶体和宝石。

  •         清洗半导体元件、印刷线路板。

  •         清洗生物芯片、微流控芯片。

  •         清洗沉积凝胶的基片。

  •         高分子材料表面修饰。

  •         牙科材料、人造移植物、医疗器械的消毒和杀菌。

  •         改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力。

  •         煤、石棉灰化。




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