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商品编号:62712
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Diener electronic Plasma 等离子清洗机 Tetra100

价    格:询价

产    地:德国更新时间:2019/7/15 13:41:34

品    牌:Diener electronic型    号:Tetra100

状    态:正常点击量:620

18621321000
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上海尔迪仪器科技有限公司

联 系 人:李志鹏

电     话:021-62211270

传     真:021-33250320

等     级: (第 7年)

性     质:生产型,贸易型,服务型,

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德国diener等离子表面处理设备特点:

  • 等离子清洗机清洗效果好,效率高,应用范围广。

  • 对清洗样品,没有任何材质、外观尺寸等要求

  •  等离子清洗过程中,温升很小,基本可达到常温处理。

  • 射频功率无极连续可调。

  •  高效的特制电极,是产生均匀等离子体的保证。

  • 特制电极和托盘结构,可充分利用真空舱体内部空间,使处理效率最大化,同时也可保证样品可得到全面有效的清洗。

  •  特有的过载、短路和过热保护电路,可保证射频电源的稳定和安全。

  • 设备整体模块化设计,安装与维护极为简单。

德国diener等离子表面处理设备的应用范围:   

                                   

  •     清洗电子元件、光学器件、激光器件、镀膜基片、芯片。

  •     清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片。

  •         移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质。

  •         清洗ATR元件、各种形状的人工晶体、天然晶体和宝石。

  •         清洗半导体元件、印刷线路板。

  •         清洗生物芯片、微流控芯片。

  •         清洗沉积凝胶的基片。

  •         高分子材料表面修饰。

  •         牙科材料、人造移植物、医疗器械的消毒和杀菌。

  •         改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力。

  •         煤、石棉灰化。

 



产品参数

Diener Plasma  低压/真空等离子表面处理/清洗/蚀刻机 Tetra100

 

主要技术参数:

基本配置:

  • 根据具体组件/选装件,外壳规格会有所不同

  • 腔室容积:根据具体版本,分为 80 - 100 升

  • 供电电源: 230 V 或者 400 V / 3 相位

气源

  • 质量流量控制器 (MFCs)

真空腔室

  • 圆形不锈钢件,配有铰链的门
    (约 ? 400 mm、长 625 mm)

  • 矩形不锈钢件,配有铰链的门
    (约宽 400 mm x 高 400 mm x 深 625 mm)

装载件

  • 产品支架(选项:水冷型)、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃

电极

  • 单层或多层

  • 具有气体喷淋的 RIE 电极

控制系统

  • PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE)

  • PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)

压力测量

  • Pirani

  • Baratron(适用于腐蚀性气体版本)

计时器

  • 数字型

发生器

频率: 40 kHz: 功率 0 - 1000 W;0 - 1500 W;0 - 2500 W

13.56 MHz: 功率 0 - 300 W;0 - 600 W;0 - 1000 W

2.45 GHz: 功率 0 - 1200 W

所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型

真空泵

  • 规格和制造商均各有不同(按照活性炭过滤器的需要)

其他选项

备件套件压力计腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器加热板温度显示器加热型腔室Faraday Box等离子体聚合配件测试墨水氧气发生器慢速通风装置慢速抽吸装置TEM样品架法兰维护/服务当地语言的文件现场安装,包括培训。可应要求提供的其他选项。

 

上海尔迪仪器科技有限公司 中国总代理



产品介绍

Diener等离子表面处理设备                         德国原装进口

德国Diener是专门生产经济、可靠的等离子清洗和等离子刻蚀设备的公司, 是世界上材料处理低温等离子体设备的市场和技术领先者。Diener采用先进的集成化技术开发生产射频频率为40KHz 80KHz13.56MHz,以及代表等离子应用最先进技术的2.45GHz的等离子清洗机。

       目前设备广泛应用于:等离子清洗、刻蚀、灰化、涂镀和表面处理。产品主要分布在真空电子、LED、太阳能光伏、集成电路、生命科学、半导体科研、半导体封装、芯片制造、MEMS器件等领域。其设备生产零件均选用其零件行业的最优质产品,以保证性能技术稳定。




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