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商品编号：81951
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磁控溅射仪 NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机 那诺-马斯特

价    格：询价

产    地：美国更新时间：2024/4/19 10:42:45

品    牌：那诺-马斯特型    号：NSC-4000

状    态：正常点击量：347

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那诺-马斯特中国有限公司

联 系 人：张经理

电     话：021-62318025

传     真：

等     级： (第 3年)

性     质：生产型,

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产品介绍

NSC-4000磁控溅射镀膜仪.png


NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机产品特点：

  • 不锈钢，铝质腔体或钟罩式耐热玻璃腔

  • 70，250或500 l/s的涡轮分子泵，串接机械泵或干泵

  • 13.56MHz，300-600W RF射频电源以及1KW DC直流电源

  • 晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率

  • 带观察视窗的腔门易于上下载片

  • 基于LabView软件的PC计算机全自动控制

  • 带密码保护功能的多级访问控制

  • 完全的安全联锁


选配项：

  • 向上、向下或侧面溅射

  • RF、DC以及脉冲DC溅射

  • 共溅射、反应溅射

  • 组合溅射

  • RF或DC偏压（1000V）

  • 样品台可加热到700°C

  • 膜厚监测仪

  • 基片的RF射频等离子清洗

  • 预真空锁以及自动晶圆片上/下载片


应用：

  • 晶圆片、陶瓷片、玻璃白片以及磁头等的金属以及介质涂覆

  • 光学以及ITO涂覆

  • 带高温样品台和脉冲DC电源的硬涂覆

  • 带RF射频等离子放电的反应溅射


型号：

  • NSC-4000：基于PC计算机全自动控制的独立式系统

  • NSC-3500：基于PC计算机全自动控制的紧凑型独立式系统

  • NSC-3000：PC计算机全自动控制的台式系统

  • NSC-1000：半自动控制的台式系统

  • (以下为双系统型号)

  • NSR-4000：溅射/RIE系统

  • NSP-4000：溅射/PECVD系统

  • NST-4000：溅射/热蒸发系统




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