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商品编号:49975
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INFICON MPG400/MPG401 冷阴极皮拉尼复合真空规

价    格:询价

产    地:美国更新时间:2019/7/15 13:41:34

品    牌:Inficon型    号:INFICON

状    态:正常点击量:2089

18253171090
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济南欧莱博科学仪器有限公司

联 系 人:李经理

电     话:18253171090

传     真:

等     级: (第 4年)

性     质:生产型,

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INFICON复合真空规 (冷阴极和皮拉尼的复合)

型号:MPG400和MPG401,

INFICON的冷阴极和皮拉尼的复合真空规 MPG400和MPG401, 测量范围从 5x10-9毫巴至大气压(3.8 x10-9乇至大气压).将两种测量方式组合在一个具有对数模拟输出的小型单元内,大大地降低了安装,设置和集成的复杂性.

优点:

复合真空规—冷阴极与皮拉尼

宽的压强测量范围从5X10-9毫巴至大气压

无可烧毁的灯丝

卓越的引燃功能

易清洗

FPM或金属密封的馈入件

高压加上时LED指示灯亮

对数模拟输出讯号

应用:

高真空压强监测

蒸发和溅射系统的压强测量

一般真空测量和控制,从中至高真空范围


产品参数

技术参数:

 测量范围 (空气, N2)

毫巴(乇)

5 x 10-9… 1000 (3.8 x 10-9… 760)

精度 (N2) 1 x 10-8 … 100毫巴

% 读值

≈±30%

重复性1 x 10-8 … 100毫巴

% 读值

≈±5%

安装方向

 

任何

允许压强

巴(绝对)

≤10 (限于惰性气体)

允许温度

工作 (室温)

贮存 

烘烤 1)

灯丝温度 (皮拉尼)

 

°C

°C

°C

°C

 

+5 … +55

–40 … +65

150

120

电源电压

 

 

在规管上

V DC

+15 … +30

在供电单元上, 最大电缆长度 2)

V DC

+16 … +30

纹波

Vpp

≤1

功耗

W

≤2

连接保险丝

AT

≤1

输出讯号(测量讯号)

 

 

电压范围

V

0 … +10.5

测量范围

V

+1.82 … +8.6

电压与压强的关系

 

对数, 0.6 V/量级

误差讯号

V

<0.5 (无电源)

 

V

>9.5 (皮拉尼传感器, 灯丝断裂)

输出阻抗

?

2 x 10

最小负载阻抗

k?

10, 短路保护

响应时间      p > 10-6 毫巴

毫秒

<10

p = 10-8 毫巴

毫秒

≈1000

规管标识

k?

85, 参考电源公共点

状态

 

 

仅皮拉尼模式

V

0 (低)

复合皮拉尼 / 冷阴极模式

V

15 … 30 (高)

指示灯

LED 绿色

高压on

电气连接

 

FCC 68 设备连接件, 8脚,凹型

传感器电缆

 

8芯,加屏蔽

电缆长度

≤50 (8 x 0.14 毫米2)

工作电压

千伏

≤3.3

工作电流

微安

≤500

暴露于真空的材料 

 

不锈钢, Al2O3, FPM75,    Mo, Ni, Au, W

不锈钢, Al2O3, Ag, Cu, Sn               Mo, Ni, Au, W

内容积

厘米3

≈20

重量

 

 

DN 25 ISO-KF

≈700 ≈730

DN 40 ISO-KF

≈720 ≈750

DN 40 CF-F

≈980 ≈1010

保护级别

 

IP 40

标准

 

EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1




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