Variable voltage 0.5 to 6.0 kV operation (continuously adjustable)
两个离子源电压0.5~6.0KV连续可调
Variable current 3 ma to 10 ma (continuously adjustable)
电流3~10ma连续可调
Milling angle range of 0o to 45o
减薄入射角0o ~ 45o
Specimen rock with 1o increments adjustable from 1o to 360o
样品台旋转0o ~ 360o
Turbomolecular Vacuum Pump with an integral molecular drag stage (70lps)
涡轮分子泵
Oil-free diaphragm backing pump
无油隔膜泵
Vacuum sensing is accomplished with a Pirani gauge
真空测定用皮拉尼真空计
4 minute pump-down time
抽真空时间少于4分钟
Menu-driven, fully programmable operation
手工输入全程序化操作
CRT to display system status
CRT显示系统状态
Programmable timer for process termination
过程可编程序
主要特点 1. 整台仪器设计紧凑,程序化自动控制减薄过程,并可分别设定每一步的参数.
2. 提供10个用户自编减薄程序,针对同样的样品可调用特定的程序.
3. 离子源自清洗功能,省略了定期清洗离子源的工作.
4. 离子源无聚焦磁场,金属样品微粒不会吸附在离子源处.
5. 大样品台和悬空工作的设计,再加上超大空间样品室,使得样品散热效果明显.
6. 样品采用弹簧固定,避免用粘粘方法造成的样品污染问题.
7. 两个独立的离子源,其电压(0.5~6Kev),电流(3~10mA)可调.
8. 减薄入射角0o ~ 45o ,样品台旋转0o ~ 360o ,在做界面样品时可选择0o ~ 120o 旋转.
9. 制备具有大面积电子穿透区的样品,
10. 采用无油分子泵可保持样品不受污染,抽真空的时间小于4分钟.
11. 通过笔记本电脑控制减薄的过程