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AIXUV
德国AIXUV GmbH www.aixuv.deAIXUV 有限公司是一家Extreme Ultraviolet radiation-XUV(极紫外线辐射)系统光源和部件的供应商。该公司的核心产品是基于压缩气体发光的EUV(极紫外线)灯,这种灯主要用于EUV 平板印刷元件的开发,或作为一种新的分析手段。XUV(极紫外线辐射)的光谱范围介于X- 光和真空紫外线之间。在此范围内,内核电子的光电效应占主导地位。XUV 光谱范围包括X 软光(用来检测活细胞)和EUV(可能应用于将来的芯片平版印刷)。EUV 同时支持10 纳米级的横向解析度和最…… 详情>
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